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전력전자학회 전력전자학회논문지 전력전자학회 논문지 제8권 제6호
발행연도
2003.12
수록면
512 - 518 (7page)

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반도체 장비나 산업용 정밀 미신 툴 등에서 고정밀 위치제어는 매우 중요하다, 고정밀 위치제어장치와 같은 미소 단위로 이동하는 물체의 이동 거리나 위치를 측정하는 다양한 기기나 반도체 제조장치 등에서 고정밀도로 위치제어를 행하는 거기들의 위치 변위 검출에 대한 정확도는 제어기의 성능을 좌우하는 중요한 요소 중의 하나가 된다. 본 논문에서는 기존의 저가형 광학식 엔토더의 전기직 회로 부분의 변형으로 디지털 신호 및 최실격지의 회설량에 대한 아날로그 신호를 기초로 하여 마이크로프로세스의 협력으로 고정도의 위치를 얻을 수 있는 새로운 방식의 위치검출기법을 제안하였다. 또한 실험을 통하여 그 타당성을 검증하였다.

목차

요약

ABSTRACT

1.서론

2.아날로그 디지털 혼합형 앤코더

3.실험결과

4.결론

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