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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2003년 춘계학술대회논문집
발행연도
2003.4
수록면
1,048 - 1,051 (4page)

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주사탐침현미경(Scanning Probe Microscpe, SPM)을 이용하여 직접 패터닝을 함으로써 hexanedithiol 분자의 임의패턴을 금 표면에 형성하였다. 또한, hexanedithiol 분자는 양단에 thiol 그룹이 존재하여 금과 안정한 화학결합을 이룰 수 있으므로, 금 표면과 결합을 이루고 있지 않은 상단의 thiol 그룹에 금 나노입자를 고정함으로써 나노입자의 패턴을 제작하였다. SPM을 이용한 직접 패터닝 방법은 분자활성을 유지한 채로 임의 패턴을 수십 nm의 선폭으로 구혀하는 것이 가능하므로, 나노입자 배열뿐만 아니라, 생화학물질의 패터닝을 통한 바이오 기술연구, 레지스트용 분자 패터닝과 식각 및 흡착 등의 계속적인 공정을 통한 다양한 나노구조 제작 등에 폭넓게 활용될 수 있다.

목차

Abstract

1. 서론

2. 실험

3. 결과 및 토의

4. 결론

후기

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