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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2003.6
- 수록면
- 997 - 1,006 (10page)
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LlGA technique evolved as a basic fabrication process for micro-structure. The present report deals with the basic technological features in the sequence of the LlGA technique such as deep x-ray lithography(DXRL), electroplating, and moulding processes at Pohang Light Source (PLS). We designed 3-D structured master for fabrication of polymeric optical wavegude and manufactured polymeric optical wavegude with the same using hot embossing process. Polymeric optical waveguide could be produced with ± 1 um accuracy and good surface roughness.
목차
Abstract
1.서론
2.DXRL beam-line특성
3.LIGA에 의한 고분자 광도파로 제작
4.결과 및 논의
5.결론
후기
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