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한국마린엔지니어링학회 Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET) 한국박용기관학회지 제28권 3호
발행연도
2004.3
수록면
531 - 537 (7page)

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In this paper, the static and dynamic characteristics in the sensor tube of a mass flow controller(MFC) were studied by experiments. In the sensor tube of MFC, the difference of temperature between inlet and outlet was necessary for calculating the mass flow rate. Therefore, the relations among flow rate, heat generated by heating wire, and sensor location were investigated to find optimized condition. Finally, the relation between sensor voltage through analog digital conversion(ADC) and flow rate in the sensor tube can be represented. Based on this study, static and dynamic characteristics of sensor tube can be used for design of mass flow controller.

목차

1. 서론

2. 질량유량센서

3. 정특성

4. 동특성

5. 결론

참고문헌

참고문헌 (6)

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