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저널정보
대한전자공학회 전자공학회논문지-SD 전자공학회논문지 SD편 제39권 제4호
발행연도
2002.4
수록면
19 - 25 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2002

산화된 다공질 실리콘 기판 위에 제작된 에어브리지를 가진 CPW Phase Shifter와 Shunt Stub
심준환 ,  박동국 ,  강인호 외 5명 전자공학회논문지-SD 2002.09 학술저널
표면 마이크로머시닝을 이용한 산화된 다공질 실리콘 기판 위에 제조된 에어브리지를 가진 Coplanar Waveguides
심준환 ,  박동국 ,  강인호 외 3명 대한전기학회 학술대회 논문집 2002.07 학술대회자료
산화된 다공질 실리콘 기판 위에 제작된 MMIC용 Air-Bridge Interconnected Coplanar Waveguides
심준환 ,  권재우 ,  박정용 외 4명 전자공학회논문지-SD 2002.04 학술저널

초록· 키워드

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본 논문에서는 실리콘 기판상의 전송선로 특성을 개선하기 위하여 표면 마이크로머시닝 기술을 이용하여 10 ㎛ 두께의 다공질 실리콘 산화막으로 제조된 기판 위에 air-bridge interconnect된 CPW 전송선로를 제작하였다. 간격이 30 ㎛, 신호선이 80 ㎛인 CPW air-bridge 전송선의 삽입손실은 4 ㎓에서 -0.25 ㏈이며, 반사손실은 -28.9 ㏈를 나타내었다. S-W-S = 30-100-30 ㎛인 stepped compensated air-bridge를 가진 CPW는 손실이 4 ㎓일 때, -0.98 ㏈ 개선됨을 알 수 있었다. 이와 같은 결과로부터 두꺼운 다공질 실리콘은 고 저항 실리콘 집적회로 공정에서 고성능, 저가의 마이크로파 및 밀리미터파 회로 응용에 충분히 활용 될 수 있으리라 기대된다.

목차

Ⅰ. 서 론

Ⅱ. 실험방법

Ⅲ. 결과 및 토의

Ⅳ. 결 론

참고문헌

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