건식 식각 공정 시뮬레이션을 위한 효율적인 그림자 테스트 알고리즘과 토포그래피 진화에 대한 연구 ( Efficient Shadow-Test Algorithm for the Simulation of Dry Etching and Topographical Evolution )

권오섭; 반용찬; 원태영

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자료유형: 학술저널

저자정보: 권오섭 반용찬 원태영

저널정보: 대한전자공학회 전자공학회논문지-D 전자공학회논문지 D편 제36권 제2호

발행연도: 1999.2

수록면: 41 - 47 (7page)

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