Fabrication of p-Well Using the Simplified lon Implanter with an Ion Shower

Akifumi Kasamatsu; Takeo Shibazaki; Katsufusa Shono

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: Akifumi Kasamatsu Takeo Shibazaki Katsufusa Shono

저널정보: 대한전자공학회 대한전자공학회 세미나 대한전자공학회 세미나(한·일 공동 Seminar) 제6권

발행연도: 1992.1

수록면: 87 - 94 (8page)

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Takeo Shibazaki

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