Reverse Design of Photomask for Optimum Fidelity and Process Margin in Optical Lithography

Yong Ho Oh ,  Sung Woo Lim ,  Jai Cheol Lee

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

Process Technology for Next Generation Photomask

Jong Min Sohn ,  Sung Woon Choi ,  Byung Gook Kim 외 3명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Challenges for Next Generation Photomask

Hi ,  oaki Mo ,  imoto 외 1명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

자체 검사를 이용한 포토마스크 결점 추출

최지희 ,  정홍

대한전자공학회 학술대회

2008 .06

“Thick-Path” Monte Carlo Method

Lee ,  Myung Woo

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

2011 .05

MONTE-CARLO 방법을 이용한 2-DEG 전달특성 분석 ( TRANSPORT CHARACTERISTICS ANALYSIS BY MONTE-CARLO METHOD )

남승현 ,  정학기 ,  이문기 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1988 .01

광리소그래피에서 최적 모양의 패턴 구현을 위한 포토마스크 역설계 ( Reverse Design of Photomask for Optimum Fidelity in Optical Lithography )

이재철 ,  오용호 ,  임성우

전자공학회논문지-D

1997 .12

광리소그래피에서 최적 모양의 패턴 구현을 위한 포토마스크 역설계

오용호 ,  이재철 ,  임성우

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

광리소그래피에서 최적 모양의 패턴 구현을 위한 포토마스크 역설계 ( Reverse Design of Photomask for Optimum Fidelity in Optical Lithography )

오용호 ,  임성우 ,  이재철

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

Improved performance of multi tone masks by advanced compensation methods

Ekbe ,  g ,  Pete 외 2명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2009 .01

Monte-Carlo 시뮬레이션을 이용한 캘리브레이션 데이터의 오차해석

안일혁 ,  황지홍 ,  최우천

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2010 .05

몬테-칼로 기법을 사용한 포토마스크의 결상 왜곡 보정

이재철 ,  오용호 ,  임성우

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

몬테-칼로 기법을 사용한 포토마스크의 결상 왜곡 보정 ( Optical Proximity Correction of Photomask with a Monte-Carlo Method )

이재철 ,  오용호 ,  임성우

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

화력기 운전 특성을 고려한 Monte Carlo 발전시뮬레이션

차준민 ,  오광해 ,  송길영

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .07

Monte Carlo Simulation기법을 이용한 송전계통의 신뢰도 평가

문승필 ,  김홍식 ,  최재석 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2001 .05

Monte-Carlo 시뮬레이션 기반 Power Curve의 전력변환 오차 개선에 관한 연구

윤은정 ,  허진 ,  정솔영 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2019 .07

표준태풍 생성을 위한 Monte-Carlo 시뮬레이션

김양선 ,  강주환 ,  조지우 외 1명

대한토목학회 학술대회

2015 .10

몬테-카를로(Monte-Carlo) 방법을 적용한 시스템 양립성 분석

김영환 ,  어필선 ,  양훈기 외 2명

대한전자공학회 학술대회

2005 .11

Monte Carlo 시뮬레이션에 의한 자동화 변전소 신뢰성 평가 방안

이동주 ,  김성헌 ,  이승학 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2014 .07