ULSI Cell Technology

윤찬수 ,  황창규

전자공학회지

1992 .05

SPUTTERING TECHNOLOGY FOR ULSI REQUIREMENTS

Ma ,  v Felcheck

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

ULSI에 적용될 전해증착 구리의 신뢰성에 미치는 열처리 효과

신창희 ,  양성훈 ,  홍석우 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2000 .01

SUBMICRON DEVICE RELIABILITY RESEARCH

Chenming Hu

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

Thermal Nitride for Future ULSI Applications

신형철 ,  최석진 ,  이귀로

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

Advanced Sputtering Target for V & ULSI Application

Osamu Kanou ,  Susumu Sawada

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1991 .01

ULSI DRAM을 이용한 새로운 구조의 캐패시터 ( The Noble Capacitor Structure for ULSI DRAM )

유상기 ,  전국진

대한전자공학회 학술대회

1992 .11

ULSI용 Stacked Chip Package에 관한 연구

김주연 ,  정연실 ,  김시중 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

Submicron 소자를 위한 고속열처리 공정 ( Rapid Thermal Processing for Submicron Devices )

김충기

한국통신학회 학술대회논문집

1988 .01

Submicron 소자를 위한 고속열처리 공정 ( Rapid Thermal Processing for Submicron Devices )

김충기

특정연구 결과 발표회 논문집

1988 .01

Future ULSI Device Using SOI Technology

Chang G. Hwang

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1991 .01

Submicron에서의 소자 기술 동향

신형순

전자공학회지

1991 .09

ULSI를 위한 금속박막 CVD 기술

민석기 ,  김용태

전자공학회지

1990 .08

Submicron 이미지 분석을 이용한 수화물 분석방법

문주혁 ,  배성철

콘크리트학회지

2019 .05

Advanced Lithography Overview for ULSI

구영모 ,  안동준 ,  현일선 외 2명

대한전자공학회 워크샵

1989 .01

The Development and Challenges for Semiconductor ULSI Industry in Taiwan

C. Y. LU

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1993 .01

Technology and Reliability Aspects of Ultra Thin Dielectrics for ULSI Applications

Dim Lee Kwong

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1993 .01

A STUDY OF INTERCONNECT RELIABSITY IN ULSI FABLICATION

Ko ,  Chui-Gi

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

ECR PLASMAS FOR ULSI FABRICATION

Young Hoon Lee

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

Electrical properties and thermal stability of Al/$WN_x$/Ti submicron contact structure

Kim ,  Yong-Tae ,  Sim 외 3명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2002 .01