Recovery Mechanisms for Stiction-Failed Microcantilevers Using Short-Pulse Lasers

Leslie M. Phinney; Chang Lin Tien

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: Leslie M. Phinney Chang Lin Tien

저널정보: 대한기계학회 Heat Transfer Conference Heat Transfer Conference Vol.5

발행연도: 1998.8

수록면: 145 - 150 (6page)

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