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논문 기본 정보

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저널정보
대한전기학회 전기학회논문지 C 전기학회논문지 제55C권 제1호
발행연도
2006.1
수록면
11 - 15 (5page)

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We propose an optical and an electrical detection methods for detecting various bio-molecules effectively with microcantilevers. The microcantilevers were fabricated employing surface micromachining technique that has attractive advantages in terms of cost efficiency, simplicity and ability of fabricating in array. The fluid cell system for injection of bio-molecular solution is fabricated using polydimethylsiloxane (PDMS) and a fused silica glass. The microcantilever is deflected with respect to the difference of the surface stress caused by the formation of self-assembled bio-molecules on the gold coated side of the microcantilever. It detected cystamine dihydrochloride and glutaraldehyde molecules and analyzed individual concentrations of the cystamine dihydrochloride solution. We confirm that the deflections of bending-up or bending-down are occurred by the bio-molecule adsorption and microcantilever can be widely used to a μ-TAS and a lab-on-a-chip for a potential detection of various bio-molecules.
#Microcantilever #Biosensor #Surface Micromachining #Self-assembly

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험
3. 결과 및 토의
4. 결론
참고문헌
저자소개

참고문헌 (6)

참고문헌 신청
[학술지(정기간행물)] - James M. Bustilo / 1998 / Surface micromachining for microelectromechanical systems 86 (8) : 1552 ~ 1574 google schola [학술지(정기간행물)] - P.J. French / 1997 / Optimization of a low-stress silicon nitride process for surface-micromachining applications 58 (2) : 149 ~ 157 google schola [학술지(정기간행물)] - Roberto Raiteri / 2001 / Micromechanical cantilever-based biosensors 79 (2/3) : 115 ~ 126 google schola [학술지(정기간행물)] - A. Boisen / 2000 / Environmental sensors based on micromachined cantilevers with integrated read-out 82 : 11 ~ 16 google schola [학술지(정기간행물)] - J. Thaysen / 2001 / Cantilever-Based Bio-Chemical Sensor Integrated In a Microliquid Handling System : 401 ~ 404 google schola

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