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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 1999.1
- 수록면
- 163 - 166 (4page)
이용수
이 논문의 연구 히스토리 (8)
2002
1995
가열 또는 냉각되는 수평웨이퍼 표면으로의 입자침착에 관한 해석 ( Analysis of Particle Deposition onto a Heated or Cooled , Horizontal Free-Standing Wafer Surface )
유경훈
,
오명도
,
명현국
대한기계학회 논문집
1995.05
학술저널
정전효과가 있는 가열 수평웨이퍼로의 입자침착 수치해석 ( Numerical Analysis of Particle Deposition onto a Heated , Horizontal Free-Standing Wafer with Electrostatic Effect )
유경훈
,
오명도
,
명현국
대한기계학회 춘추학술대회
1995.01
학술대회자료
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1995 .01
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가열 또는 냉각되는 수평웨이퍼 표면으로의 입자침착에 관한 해석 ( Analysis of Particle Deposition onto a Heated or Cooled , Horizontal Free-Standing Wafer Surface )
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1995 .05
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1998 .01
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