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목 차List of tables ⅲList of figures ⅳ국문요약 ⅵⅠ . 서 론 11.1 연구 배경 및 관련분야 동향 11.2 연구 목적 3Ⅱ . 이론적 배경 42.1 초정밀절삭이론 (Ultra-Precision cutting theory) 42.1.1 다이아몬드공구 (Diamond tool) 62.1.2 공구의 마모 (Wear of tool) 72.1.3 표면거칠기 (Surface roughness) 82.2 레이저 보조 모듈 (Laser-Assisted Module, LAM) 132.3 음향방출센서 (Acoustic emission sensor) 152.4 자기유변유체연마 (Magnetorheological Finishing, MRF) 162.5 실험계획법 (Design of Experiments, DOE) 182.5.1 다구치 방법론 (Taguchi Method) 192.5.2 수직 행렬 (Orthogonal array) 232.5.3 수준 평균 분석법 (Level average analysis) 252.5.4 ANOVA 분석 (Analysis of variance) 26Ⅲ . 실험 방법 및 활용장비 273.1 실험 대상 소재 273.2 실험 장비 283.2.1 초정밀 가공 다이아몬드 터닝머신(DTM) 283.2.2 백색광 간섭계(White-light interferometer) 303.3 실험 방법 313.4 측정 방법 34Ⅳ . 저마늄(Ge) 소재의 초정밀 공정 최적화 354.1 측정 및 결과 354.2 S/N비 수준 평균 분석 414.2.1 레이저 출력에 따른 회전속도와의 상관관계 반응 분석 444.2.2 레이저 출력에 따른 이송속도와의 상관관계 반응 분석 454.2.3 레이저 출력에 따른 절삭깊이와의 상관관계 반응 분석 464.3 실험 분산분석 474.4 실험 최적화 설계 및 검증 494.5 2차 추가실험 504.5.1 실험 방법 504.6 2차 추가실험 결과 514.7 2차 추가실험 분산분석 53Ⅴ . 결론 55Reference 57ABSTRACT 59
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