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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학위논문
- 저자정보
- 지도교수
- 김현호
- 발행연도
- 2023
- 저작권
- 금오공과대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.
이용수5
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Janus 구조의 전이금속 칼코겐 화합물은 고유의 원자구조 비대칭성으로 인해 매우, 수직적으로 압전기가 형성되거나, 여기자가 형성되어 오래 유지될 수 있다는 등의 특징을 가진다. 하지만 이러한 여러가지 희귀한 특성을 보여줌에도 이를 고품질로 합성하는 방법에 대해 아직 연구가 부족한 실정이다. 본 연구에서는 화학기상 증착법을 기반으로 고품질 MoSSe를 합성하는데 성공한 결과 및 이를 응용한 고성능 트랜지스터 소자 결과에 대해 발표한다. 성장된 MoSe2와 MoSSe는 광학현미경과 라만 스펙트럼 분석과 Photoluminescence(PL) 분석과 그리고 주사전자현미경(TEM)을 통해 확인하였으며, 기존 보고된 합금 형태의 MoSXSe2-X가 아닌 Janus 구조를 지니고 있다는 것을 확인하였다. 이러한 Janus 구조의 MoSSe는 향후 고성능 가스센서, 광센서 등 다양한 응용에 사용될 것으로 기대된다.
목차
제 1 장 서 론 11.1 이차원 물질 11.2 화학기상 증착법(CVD) 41.2.1 CVD를 통한 전이금속 칼코겐 화합물의 합성법 71.3 MoSe2 111.4 Janus 전이금속 칼코겐 화합물 131.5 Janus 전이금속 칼코겐 화합물의 합성법 161.6 실험목표 19제 2 장 실 험 202.1 CVD를 통한 MoSe2의 합성 202.2 CVD를 통한 MoSSe의 합성 23제 3 장 결과 및 고찰 263.1 MoSSe 합성을 위한 MoSe2 합성 결과 263.1.1 온도 변수에 따른 MoSe2의 성장 결과 263.1.2 Carrier gas의 총량에 따른 MoSe2의 성장 결과 293.1.3 Se의 공급 시기에 따른 MoSe2의 성장 결과 323.2 공정 온도에 따른 MoSe2의 황화 결과 관찰 353.3 공정 시간에 따른 MoSe2의 황화 결과 관찰 393.4 결함 유무에 따른 MoSe2의 황화 결과 관찰 433.5 MoSSe의 투과전자현미경(TEM) 분석 483.6 MoSe2와 MoSSe의 특성 비교 513.6.1 Raman 분광 스펙트럼 및 PL 관찰 513.6.2 전기적 특성 비교 53제 4 장 결 론 56
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