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논문 기본 정보

자료유형
학위논문
저자정보

김현승 (조선대학교, 조선대학교 대학원)

지도교수
권민기
발행연도
2023
저작권
조선대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.

이용수11

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이 논문의 연구 히스토리 (4)

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As we move into the smart era, we are developing rapidly with an emphasis on the development of wearable device sensors that can monitor health condition in real time. These technological advances can check breathing, heart rate, blood pressure, and physiological phenomena in real time without going to the hospital. Among various sensing, respriation mornerting is especially important because it can possible to follow-up of chronic obstructive pulmonary diseases (COPD), moniter sleep apnea, nocturnal monitoring of respiration, unobtrusive monitoring of vital signs and prevent sudden infant and adult death syndromes. Although the contact method to measure respration rate has the advantage of greater accuracy, it is difficult to use continuously due to its inconvenience. Therefore, the development of various sensor technologies has occurred in many studies on non-contact methods.
For that, in this work, we fabracated the thin film transistor with two-dimensional (2D) nanomaterials, transition metal dichalcogenides (TMDs) which can detect change of humidity during respration. Because of their unique mechanical, chemical, and electrical properties, and large surface to volume ratio, it has good responsbility and on-off ratio. Molybdenum disulfide (MoS2) with fast absorption and easy desorption of H2O was chosen among the 2D layered materials. Although there are few report to apply respration sensor with MoS2, it is not sufficient to replace commerical respiration sensor.
So, we tried to improve the responsibility and on/off ratio with optimizaiton of crystal quality of MoS2. In addition, we tried to reduce Shottky barrier height (SBH)by appling exterial stresss of tensile and compressive. With optimization, respriation sensor has sensing time belew 0.1 sec of rising and recoversity time. It means it is sufficient to measure human respration.
After that, we tried to find out if it could be applied to lung cancer diagnosis. We prepare mice with lung cancer and monitor their respiration compared to mice without lung cancer. They found that the current values in mice with lung cancer due to volatile organic compounds such as toluene were 12.5 times higher than in mice without lung cancer.
This research will contribute to the development of new wearable devices that can monitor health conditions in real time and prevent cancer.

목차

ABSTRACT
제1장 서 론 1
제2장 이론적 고찰 11
제1절 센서 기술 11
제2절 반도체 (Semiconductor) 11
제3절 반도체 소자 13
1. 다이오드 (Diode) 13
2. 트랜지스터 (Transistor) 15
가. BJT (Bipolar Junction Transistor) 15
나. FET (Field Effect Transistor) 16
다. TFT (Thin Film Transistor) 19
제4절 2차원 물질 (2D material) 반도체 소재 20
1. 흑린 20
2. TMDs (Transition Metal Dichalcogenide) 21
3. 육방정계 질화붕소 22
4. 그래핀 (Graphene) 23
5. MoS2 (Molybdenum disulfide) 24
제3장 실험 방법 및 결과 25
제1절 MoS2 박막 성장 25
1. 화학적 기상 증착법 (Chemical Vapor Deposition, CVD) 25
2. 수열 합성법 (Hydrothermal) 28
3. 화학적 기상 증착법과 수열 합성법으로 성장 된 MoS2 특성 비교 30
제2절 MoS2 호흡 센서 제작 32
1. 화학적 기상 증착법을 통해 성장 된 MoS2 박막을 이용한 호흡 센서 제작 32
2. 수열 합성법을 통해 성장 된 MoS2를 이용한 호흡 센서 제작 35
제3절 Strain에 따른 호흡 센서의 전기적 특성 36
1. 화학적 기상 증착법을 통해 성장 된 MoS2 박막을 이용한 호흡 센서 특성 분석 36
2. 수열 합성법을 통해 성장 된 MoS2를 이용한 호흡 센서 특성 분석 47
제4절 열처리 후 전기적 특성 변화 49
제5절 MoS2 센서를 이용한 폐암 측정을 위한 쥐 호흡 실험 54
제 4장 결 론 59
[참고문헌] 60

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