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이용수11
1. 서론 81.1 연구 개요 82. 정전용량 센서의 구성 122.1 이론적 배경 122.1.1 정전용량 센서의 원리 122.2 전극 배치에 따른 커패시터의 전하 밀도 및 정전용량 분석 152.2.1 평판형 커패시터 152.2.2 병렬형 커패시터 182.3 전극 구성에 따른 정전용량 센서의 전하 밀도 및 정전용량 분석 212.3.1 단독형 정전용량 센서 212.3.2 위상차 구동형 정전용량 센서 262.3.3 이격 거리에 따른 전하 밀도 및 정전용량 변화 312.3.4 결함에 따른 전하 밀도 및 정전용량 변화 343. 정전용량 센서의 구동 633.1 정전용량 센서의 작동 모드 633.1.1 단독형 / 송신형 / 분류형 / 위상차 구동형 633.2 실험 환경을 포함한 정전용량 모델 653.2.1 실험 환경을 포함한 정전용량 센서의 등가회로 653.3 기준 Ground에 따른 표면 전하 밀도 및 정전용량 분석 703.3.1 Ground-target 간 접촉에 의한 전하 밀도 및 정전용량 변화 703.3.2 Ground-target 간 접촉에 의한 이격 거리에 따른 특성 변화 733.3.3 Ground?target 간 접촉에 의한 결함에 따른 특성 변화 744. 정전용량 센서의 신호 분석 및 검증 1014.1 실험 구성 1014.1.1 센서 제작 및 실험 구성 1014.2 결함의 지름 및 길이에 따른 결과 분석 1074.2.1 결함 지름별 (8mm/12mm/24mm/36mm) 결과 1074.2.2 결함 깊이별 (1mm/3mm/5mm) 결과 1125. 결론 119참고문헌 122
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