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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학위논문
- 저자정보
- 지도교수
- 김영만
- 발행연도
- 2022
- 저작권
- 전남대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.
이용수1
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비구면 유리 렌즈는 일반적으로 초경합금 금형을 이용하여 고온 고압 성형 방식으로 제작되기 때문에 성형용 금형의 경질 박막 적용이 필수적이다. 대표적인 경질 박막으로는 c-BN(Cubic Boron Nitride)과 ta-C(Tetrahedral Amorphic Carbon)박막이 주로 활용되고, 활발한 연구가 진행되고 있다. 본 연구에서는 c-BN, ta-C박막의 합성 및 이를 실제 유리 렌즈 성형용 금형에 적용하는 연구를 진행하였다.
c-BN박막은 Sputter 장비를 이용하여 기판 바이어스, 증착 온도와 진공조의 초기 진공도에 따른 c-BN박막 합성에 관하여 연구를 진행하였다. 진공조의 초기 진공도가 9×10-7 Torr이상, 증착온도는 150℃, 기판바이어스 ?400V의 증착조건에서 c-BN 분율이 70%인 c-BN 박막이 합성되었다.
ta-C박막은 FVA(Filtered Vacuum Arc)장비를 활용하여 기판 바이어스에 따른 ta-C박막 합성에 관하여 연구를 진행하였다. 기판 바이어스 ?60V의 조건에서 sp3분율이 최대 87%인 ta-C박막을 제조할 수 있었다. 또한 에칭을 통한 ta-C박막 재 코팅시 금형의 성형수명 변화에 대하여 관찰하였다. 박막 에칭 후 재 코팅시, 금형 표면의 폴리싱을 진행한 금형은 폴리싱을 진행하지 않는 금형보다 수명이 약 1.6배 향상된 결과를 얻을 수 있었다.
c-BN박막은 Sputter 장비를 이용하여 기판 바이어스, 증착 온도와 진공조의 초기 진공도에 따른 c-BN박막 합성에 관하여 연구를 진행하였다. 진공조의 초기 진공도가 9×10-7 Torr이상, 증착온도는 150℃, 기판바이어스 ?400V의 증착조건에서 c-BN 분율이 70%인 c-BN 박막이 합성되었다.
ta-C박막은 FVA(Filtered Vacuum Arc)장비를 활용하여 기판 바이어스에 따른 ta-C박막 합성에 관하여 연구를 진행하였다. 기판 바이어스 ?60V의 조건에서 sp3분율이 최대 87%인 ta-C박막을 제조할 수 있었다. 또한 에칭을 통한 ta-C박막 재 코팅시 금형의 성형수명 변화에 대하여 관찰하였다. 박막 에칭 후 재 코팅시, 금형 표면의 폴리싱을 진행한 금형은 폴리싱을 진행하지 않는 금형보다 수명이 약 1.6배 향상된 결과를 얻을 수 있었다.
목차
1. 서론12. 이론적 배경4가. c-BN박막4나. ta-C박막193. 실험방법274. 결과 및 고찰38가. c-BN박막38나. ta-C박막605. 결론876. 참고 문헌90
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