목차

Abstract......................................................................................................................................... i
목차.............................................................................................................................................. iv
그림 목차................................................................................................................................ viii
제 1 장 서 론 ........................................................................................................................1
제 2 장 단일 칩 배열 검출기............................................................................................. 3
2.1 단일 픽셀 검출기 설계 ...............................................................................3
2.2 단일 칩 배열 검출기 설계 .........................................................................8
2.2.1 단일 칩 6 x 6 배열 검출기 설계 ......................................................8
2.2.2 신호 배치 구성 네트워크 .....................................................................9
2.2.3 온 칩 패키지 .........................................................................................12
2.3 전기적 특성 측정 결과 .............................................................................13
2.4 THz 이미징 실험 .......................................................................................20
제 3 장 다중 칩 배열 검출기 ...................................................................................... 24
3.1 다중 칩 배열 검출기 설계 ..................................................................... 24
3.1.1 다중 칩 배열 검출기 구성 .................................................................24
3.1.2 다중 칩 연결로 인한 픽셀 간 성능 차이 ......................................27
3.2 전기적 특성 측정 결과 ........................................................................... 31
3.3 THz 실시간 이미징 실험 ........................................................................ 39
제 4 장 단일 칩 패드 내장형 배열 검출기 .............................................................. 43
4.1 효율적인 칩 공간 활용을 위한 배열 검출기 설계 .............................43
4.1.1 패드 내장형 배열 검출기 설계 배경 ..............................................43
4.1.2 단일 픽셀 검출기 설계 ..................................................................... 44
4.1.3 단일 칩 배열 검출기 설계 및 신호 배치 구성 네트워크 ...............................................................................................................................48
4.1.4 온 칩 패키지 ........................................................................................53
4.2 전기적 특성 측정 결과 .............................................................................54
4.3 THz 이미징 실험 .......................................................................................59
제 5 장 다중 칩 패드 내장형 배열 검출기 .............................................................. 62
5.1 다중 칩 패드 내장형 배열 검출기 설계 ............................................. 62
5.1.1 다중 칩 패드 내장형 배열 검출기 구성 ........................................62
5.1.2 다중 칩 연결로 인한 픽셀 간 성능 차이 ......................................65
5.2 전기적 특성 측정 결과 ........................................................................... 69
5.3 THz 실시간 이미징 실험 ........................................................................ 74
제 6 장 결론 ......................................................................................................... 77
참 고 문 헌 ........................................................................................................................ 79