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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학위논문
- 저자정보
- 지도교수
- 김덕규
- 발행연도
- 2022
- 저작권
- 원광대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.
이용수12
이 논문의 연구 히스토리 (3)
2022
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투명 전극은 태양전지, 디스플레이 등 광전자 소자에 널리 사용되고 있다. 투명 전극은 다양한 재료를 이용해 제작할 수 있으며, 그 중 투명 전도성 산화물(TCO)의 대표적인 재료가 ITO이다. 하지만 ITO의 몇 가지 단점 때문에 대체 재료가 필요했고, 3가 원소를 도핑시킨 ZnO(Zinc Oxide) 박막을 사용해 이 단점을 해결 할 수 있었다. 그러나 AZO, GZO 박막에 대한 연구는 많이 진행되었으나, AGZO 박막에 대한 연구는 많지 않은 실정이다. 뿐만 아니라 FTIR 분석을 통한 구조적 특성 해석에 대한 연구도 많지 않다. 따라서 본 연구를 통해 여러 공정인자들에 따른 AGZO 박막의 구조적, 전기적, 광학적 특성을 연구하고자 하였다. 박막은 RF 마그네트론 스퍼터링 시스템을 이용하여 AGZO 타겟(ZnO:Al2O3:Ga2O3=96:2:2 wt%)을 스퍼터링하여 유리 기판 위에 증착하였다. 이 때 Ar 유량, RF 파워, 공정 압력을 변화시키면 증착하였다. XRD, AFM, FTIR을 이용하여 구조적 특성을 분석하였고, Hall 효과 측정을 통해 전기적 특성을 분석하였다. 또한 UV/Vis 분광 광도계를 이용하여 광학적 특성을 분석하였다. 실험 결과 Ar 유량이 5 sccm, RF 파워 150 W, 공정 압력 1 mTorr일 때 낮은 면저항과 높은 투과도를 가지며 특성이 가장 좋았다. 따라서 TCO로써 사용하기에 적합하다는 것을 확인하였다.
목차
Ⅰ 서 론1. 소 개가. 연구 배경 및 필요성2. 이 론가. 투명 전도성 산화막(Transparent Conductive Oxide)나. RF 마그네트론 스퍼터링 시스템다. 구조적 특성 분석1) XRD(X-ray Diffraction)2) AFM(Atomic Force Microscope)3) FTIR(Fourier Transform Infrared Spectroscopy)라. 전기적 특성 분석1) Hall 효과 측정마. 광학적 특성 분석1) UV/Vis 분광광도계(UV/Vis Spectroscopy)Ⅱ 본 론1. 실험 방법가. 실험 조건나. 특성 분석 방법2. 실험 결과가. Ar 유량에 따른 특성1) XRD(X-ray Diffraction)2) AFM(Atomic Force Microscope)3) FTIR(Fourier Transform Infrared Spectroscopy)4) Hall 효과 측정5) UV/Vis 분광광도계(UV/Vis Spectroscopy)나. RF 파워에 따른 특성1) XRD(X-ray Diffraction)2) AFM(Atomic Force Microscope)3) FTIR(Fourier Transform Infrared Spectroscopy)4) Hall 효과 측정5) UV/Vis 분광광도계(UV/Vis Spectroscopy)다. 공정 압력에 따른 특성1) XRD(X-ray Diffraction)2) AFM(Atomic Force Microscope)3) FTIR(Fourier Transform Infrared Spectroscopy)4) Hall 효과 측정5) UV/Vis 분광광도계(UV/Vis Spectroscopy)라. Annealing 온도에 따른 특성1) XRD(X-ray Diffraction)2) AFM(Atomic Force Microscope)3) FTIR(Fourier Transform Infrared Spectroscopy)4) Hall 효과 측정5) UV/Vis 분광광도계(UV/Vis Spectroscopy)마. Annealing 시간에 따른 특성1) XRD(X-ray Diffraction)2) AFM(Atomic Force Microscope)3) FTIR(Fourier Transform Infrared Spectroscopy)4) Hall 효과 측정5) UV/Vis 분광광도계(UV/Vis Spectroscopy)Ⅲ 결 론
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