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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학위논문
- 저자정보
- 지도교수
- 정상국
- 발행연도
- 2022
- 저작권
- 명지대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.
이용수19
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본 논문은 높은 열전달을 이용하는 다양한 산업에 적용될 수 있는 전기와 음파 두가지 구동 원리를 이용한 기포 제거 기술을 제안한다. 전기 구동으로써 유전 영동 기술은 기포를 기판의 표면으로부터 분리시키는 목적으로 사용되었고, 음파는 분리된 기포를 음파로 가진하여 기포를 이송 및 제거하는 목적으로 이용되었다. 미세 제작 공정을 통해 제작된 패턴 전극에 다양한 전압과 주파수를 가진 전기신호를 인가하여 그 때 발생한 기포의 접촉각 변화와 표면으로부터 분리된 거리를 측정하였다. 그리고 다양한 주파수에서 음파 가진에 따른 표면으로부터 분리된 단일 기포의 이동 속도를 고속 카메라를 이용하여 측정함으로써 음파 가진에 의한 기포 제거 속도와 효율을 검토하였다. 다양한 크기의 다중 기포 제거의 가능성을 검증하기 위해, 제안된 유전 영동 기술과 음파를 이용하여 서로 다른 크기의 기포들을 동시에 표면으로부터 분리시키고 제거하는 실험을 수행하였다. 이 실험을 통해, 다양한 크기의 다중 기포들을 1초 안에 모두 제거할 수 있는 것을 확인하였다. 본 연구를 통해 제안된 기포 제거 방법은 높은 열전달을 필요로 하는 다양한 산업에 적용될 수 있을 것으로 판단된다.
목차
그림목차 ⅱ국문초록 ⅲ제 1 장 서론 1제 2 장 본론 51. 유전 영동 현상의 구동원리 52. 칩 제작방법과 실험 셋업 7제 3 장 실험결과 101. 유전 영동 현상을 이용한 기포 거동 102. 음파를 이용한 기포 제거 연구 113. 데모실험 12제 4 장 결론 19참고문헌 20Abstract 25
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