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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학위논문
- 저자정보
- 지도교수
- 정대용
- 발행연도
- 2021
- 저작권
- 인하대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.
이용수15
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Yb2O3 함량 및 CAS glass 첨가에 따른 조성 변화가 AlN의 미세구조, 열전도도 및 기계적 강도에 미치는 영향에 관하여 고찰하였다. AlN 분말에 소결 첨가제로 Yb2O3와 CAS glass를 첨가하고, 1700-1900oC 범위에서 2시간 유지하여 N2 분위기에서 소결하였다. glass가 첨가된 경우, 소결 과정에서 Yb2O3 함량이 상대적으로 더 적은 조건에서 2차상의 형상이 고립된 형태에서 연속적인 형상으로 변형되는 현상이 관찰되었다. 그 결과, CAS glass가 첨가되지 않은 조성의 벌크밀도는 1800oC 5 wt.% Yb2O3를 첨가한 경우 3.39 g/cm3, CAS glass가 첨가된 조성은 3.35 g/cm3을 나타내었다. CAS glass가 첨가되지 않은 조성의 열전도도 108 W/m?K, 곡강도 313 MPa을 나타내었고, CAS glass가 첨가된 조성은 열전도도 133 W/m?K로 CAS glass를 첨가하지 않은 조성과 25 W/m?K 차이났으며, 곡강도는 418 MPa로 105 MPa 차이났다. 이러한 결과로부터 AlN에 Yb2O3와 CAS glass를 동시에 첨가하면 열전도율은 크게 감소되지 않으면서 기계적 강도를 증가시킬수 있음을 확인하였다. 94 wt.% AlN - 5 wt.% Yb2O3에 CAS glass를 1 wt.% 첨가한 조성을 솔벤트 및 유기물과 혼합하여 그린시트로 제조하기 위해 분산제 함량에 따른 분산성 및 유기물 함량에 따른 점도와 물성을 확인하였다. 그리고 그린시트 상에 텅스텐 전극을 인쇄한 후 적층 및 압착 공정을 통하여 히터 성형체를 제조하였으며, N2 분위기로 1800oC에서 2시간동안 소결하여 평판형 세라믹 히터를 제조하였다.
목차
1. 서 론 12. 이론적 배경 32.1. AlN 특성 32.2. Tape casting법 및 적층 세라믹 공정 62.3. 세라믹 히터의 특성 93. 실험방법 123.1. AlN-Yb2O3-CAS 세라믹스 제조 123.2. AlN-Yb2O3-CAS 그린시트 및 세라믹 히터 제조 134. 결과 및 고찰 164.1. AlN-Yb2O3-CAS 세라믹스의 소결 특성 164.2. AlN-Yb2O3-CAS 그린시트 및 히터 제조 255. 결 론 33참고문헌 35
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