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논문 기본 정보

자료유형
학위논문
저자정보

윤경호 (충북대학교, 충북대학교 대학원)

지도교수
전명근
발행연도
2020
저작권
충북대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.

이용수5

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

초록· 키워드

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검사 장비에서 미세한 결함을 검출하기 위해 오토포커싱은 필수적이다. 본 논문에서는 유리 기판 상에서 자동으로 초점을 맞출 수 있는 광학 시스템과 초점을 빠르고 정확하게 조정할 수 있는 알고리즘을 제안한다. 광학 시스템은 Koehler 조명을 이용하여 시야 조리개의 대비를 측정하며, 일반 유리에 효과적이다. 랜덤 포레스트를 이용한 오토포커싱 알고리즘은 입력이미지에 대한 초점거리를 목표값으로 설정하여 학습하며, 새로운 이미지가 주어지면 초점 거리 추정치가 계산된다. 다양한 위치에서 얻은 이미지를 사용하여 초점 측정에 대한 다양한 실험이 수행되었으며, 다른 방법보다 더 나은 결과를 나타낸다.

목차

Ⅰ. 서 론 1
1.1 연구배경 및 목적 1
1.2 연구 동향 2
1.3 논문의 구성 3
Ⅱ. 오토포커싱 기술 4
2.1 기초 이론 4
2.2 오토포커싱 종류 6
2.3 초점값 계산 알고리즘 9
2.4 초점값 검색 알고리즘 16
Ⅲ. 랜덤 포레스트를 이용한 오토포커싱 시스템 18
3.1 시스템 구성도 18
3.2 광학 시스템 20
3.3 랜덤 포레스트를 이용한 오토포커싱 24
Ⅳ. 실험 및 결과 32
4.1 실험장치 구성 32
4.2 실험 결과 38
Ⅴ. 결 론 51
참고문헌 또는 인용문헌 53

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