지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학위논문
- 저자정보
- 지도교수
- 이위형
- 발행연도
- 2020
- 저작권
- 건국대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.
이용수9
이 논문의 연구 히스토리 (2)
- 이 논문의 후속연구가 궁금하신가요?
- 연관 학술논문 또는 학술발표를 통해 보다 발전된 연구결과를 확인하실 수 있습니다.
- 이 논문의 연구 히스토리 확인하기
초록· 키워드
오류제보하기
본 연구에서 용액공정이 가능한 p-type 저분자 유기반도체인 5,11-bis(triethylsilylethynyl)anthradithiophene(TES-ADT) 기반 가스센서에 반도체 박막의 패터닝 공정을 적용하였으며, 이의 감지 특성을 체계적으로 분석하였다. 유기용매인 1,2-Dichloroethane(DCE)와 음각으로 패턴이 새겨진 Polydimethylsiloxane(PDMS) 몰드를 이용하여 TES-ADT 박막의 패터닝 및 결정화 공정을 동시에 진행하였다. TES-ADT 패턴에 따라 유기반도체의 모서리 부분을 형성하였고, 이를 통해 NO2 가스분자의 반도체층-유전층 계면으로의 침투 가능성을 확인하였다. 패턴의 폭이 좁을수록 유기반도체 결정 모서리 부분의 길이가 증가하였고, 가스센서의 전반적인 성능이 향상되었다. 추가적으로 전압안정성에 대한 문제를 개선하기 위해 절연성 고분자인 Poly(methyl methacrylate) (PMMA)를 블렌드한 패터닝 소자를 제조하였다. 이를 통해 센서의 연속측정에서 일정한 게이트 전압이 지속적으로 가해져도 소스-드레인 전류가 일정하게 유지되었으며, 센서의 신뢰성 또한 향상시킬 수 있었다. 본 연구는 유기전계효과 트랜지스터 기반 가스센서에서의 패터닝 공정 적용 및 절연성 고분자와의 블렌드를 통하여 가스분자의 확산 경로에 대한 새로운 관점 및 효율적 가스센서 제조방법을 제시한다.
목차
제1장 서론 1제1절 유기전계효과 트랜지스터 1제2절 유기전계효과 트랜지스터 기반 가스센서 2제3절 유기전계효과 기반 가스센서의 연구 현황 및 목적 4제2장 실험 5제1절 재료 및 시약 5제2절 시료 조제 및 소자 제작 61. 유기반도체 물질 62. 기판 준비 63. 용액 제작 및 코팅 7가. TES-ADT 박막 코팅 7나. TES-ADT/PMMA 블렌드 박막 코팅 74. 유기반도체 박막 패터닝 및 결정화 7가. PDMS 몰드 준비 7나. TES-ADT 박막 패터닝 소자 제작 8다. TES-ADT/PMMA 블렌드 박막 패터닝 소자 제작 85. 전극 증착 96. 가스센서 제작 10제3절 시료 측정 111. 유기반도체 박막의 모폴로지 측정 112. 전기적 특성 측정 113. 가스 센서 특성 측정 11제3장 결과 및 고찰 13제1절 TES-ADT 박막 패터닝 131. TES-ADT 박막의 패터닝에 따른 모폴로지 및 결정화 특성 132. 패터닝에 따른 TES-ADT FETs의 전기적 특성 153. 패터닝에 따른 TES-ADT FETs의 가스센서 특성 174. 패터닝 TES-ADT FETs의 가스 확산 경로와 민감도 분석 195. 패터닝 TES-ADT FETs의 전기적 성능 및 가스센서 성능 비교 21제2절 TES-ADT/PMMA 블렌드 박막 패터닝 231. TES-ADT/PMMA 블렌드 박막의 패터닝에 따른 모폴로지 및 결정화 특성 232. 패터닝 TES-ADT/PMMA FETs의 전기적 특성 253. 패터닝 TES-ADT/PMMA FETs 가스센서 특성 및 전압안정성 27제4장 결론 30참고문헌 31국문초록 35
최근 본 자료
댓글(0)
0