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논문 기본 정보

자료유형
학위논문
저자정보

조찬우 (경기대학교, 경기대학교 대학원)

지도교수
이준성
발행연도
2019
저작권
경기대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.

이용수4

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이 논문의 연구 히스토리 (6)

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현대 산업이 고도화 되어감에 따라 연구, 개발 및 생산, 검사공정 등 다양한 분야에서 정밀장비의 기여도는 날로 증가하고 있다. 정밀공정 산업의 핵심 기술이 소형화와 고집적화, 대용량화됨에 따라 고 정밀도가 요구되며 고정밀 공정에서의 신뢰성 확보가 시급한 상황이다. 지반진동은 지진, 설비, 인근차량 혹은 주변 인력의 유동 등 많은 복합적인 요소들을 변수로 갖는다. 또한 반도체 설비의 경우 구조가 복잡하여 해석하기에 많은 시간을 필요로 하며, 그에 따라 본 연구에서는 n층 전단구조물을 통한 구조의 단순화와 지반진동의 가속도신호를 측정하여 변위에 대한 해석을 통하여 구조변경 및 재해석 시간을 감소시켰다. 이 때, 지반진동의 가속도신호에 관한 해석에서 변위신호로의 변환과정 중 일부 노이즈의 영향을 보완하기 위하여 0.5Hz이하의 주파수 성분을 고역 통과 필터(High Pass Filter)를 사용하여 제거하였으며 실험 결과의 신뢰도를 높였다.

목차

제 1 장 서 론 1
1.1 연구 배경 1
1.2 연구 동향 1
1.3 연구 내용 및 목적 2
제 2 장 이론 3
2.1 n층 전단구조물 진동 모델 3
2.2 운동방정식의 적용 4
2.3 전달 행렬법 8
2.4 다구치 방법 12
2.4.1 다구치 실험계획법 12
2.4.2 다구치 방법에서의 인자와 직교배열 13
2.4.3 손실함수와 망(목,소,대)특성 14
2.5 주파수영역 해석법을 이용한 응답해석 17
2.6 콘볼루션 17
제 3 장 신호분석 19
3.1 지반진동 신호 수집 19
3.2 신호변환 20
3.3 고유진동수와 고유모드 24
제 4 장 결과 및 고찰 26
4.1 다구치 실험계획법 적용 26
4.2 다구치 방법을 이용한 진동저감 28
제 5 장 결 론 36
참고문헌 37
Abstract 39

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