반도체 업종의 독성가스 스크러버 처리효율 측정방법에 관한 연구 :A study on the destruction or removal efficiency measurement methods of toxic gas scrubber in semiconductor industries

장성수

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자료유형: 학위논문

저자정보: 장성수 (서울과학기술대학교, 서울과학기술대학교 대학원)

지도교수: 이수경

발행연도: 2018

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이용수38

이 논문의 연구 히스토리 (2)

2018

반도체 업종의 독성가스 스크러버 처리효율 측정방법에 관한 연구

장성수 에너지환경융합학과 2018.01 학위논문

2017

반도체 & 디스플레이 업종에서 사용되는 독성가스 저감시설의 처리효율 측정방법에 관한 연구

장성수 , 한재국 , 조현일 외 1명 한국가스학회지 2017.12 학술저널

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국내에서 독성가스의 사용은 반도체, 디스플레이 및 태양광 등 첨단산업의 발전에 따라 증가하고 있는 추세이다. 최근 5년간 국내 독성가스 소비량 현황을 살펴보면 연평균 12.4% 정도 증가 추세에 있지만, 아직까지 사용에만 관심이 집중되어 있고, 사후 처리나 안전에는 다소 소홀한 것이 사실이다.
2012. 9월 발생한 구미 불산 누출사고는 이러한 안전관리 부재를 단적으로 보여주는 사례이다. 이 사고로 인하여 정부, 업계 및 학계에서는 화학물질(독성가스) 누출사고 등에 대한 관심을 갖게 되었고, 정부 주도로 화학물질안전관리대책 등이 수립되어 추진되어 왔지만 아직까지 안전관리 사각지대가 많은 실정이다. 반도체, 디스플레이 등 업종에서 사용되는 독성가스는 구미 사고시 누출된 불산 보다 훨씬 맹독성을 지니고 있는 것들(AsH3, PH3, B2H6 등)이 많아 한번 사고로 치명적인 인명 및 재산피해를 유발할 수 있다.
본 연구에서는 반도체, 디스플레이 업종에서 사용되는 저감설비(Scrubber)에서 배출되는 가스상 물질에 대한 처리효율에 대한 효과적인 측정방법을 개발하는 것이 목적이다. 국립환경과학원과 UNFCCC에서 제시하는 반도체 & 디스플레이 업종에서 사용되는 온실가스 Scrubber의 처리효율 측정방법 가이드라인에 대해 실증시험을 통해 맹독성가스 시설에도 오차 범위 내에서 적용 가능한지를 살펴보고 맹독성가스 Scrubber에 대한 차별화된 효율성 측정 방법을 제시하였고, 독성가스 사고에 대한 선제적 예방을 위해서 독성가스 Scrubber 등 안전설비에 대한 제3자 인증제도 도입의 필요성을 제안하였다.

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목 차 ⅰ
요 약 ⅲ
표 목 차 ⅳ
그림목차 ⅵ
I. 서 론 1
1. 연구의 배경 및 목적 1
2. 독성가스 산업 현황 2
3. 독성가스시설의 안전기준 4
4. 독성가스시설 사고현황 6
5. 선행연구 및 연구방향 11
6. 연구방법 및 범위 12
II. 반도체 공정 및 Scrubber 이해 14
1. 반도체 공정 등에 사용되는 독성가스의 특성 14
1.1. 독성가스의 정의 14
1.2. 독성가스의 물성에 따른 분류 14
1.3. 독성가스의 폭발 위험성 16
1.4. 독성 16
2. 독성가스 이용 분야 20
2.1. 특수고압가스의 이용분야 20
2.2. 반도체 분야에서의 이용 20
3. 제독설비 24
3.1. 제독설비 일반사항 24
3.2. 제독방법의 선정 24
III. Scrubber 처리효율 측정 방법의 고찰 39
1. 기존 Scrubber의 저감효율 측정 가이드라인 고찰 39
1.1. 반도체 & 디스플레이 업종에서 사용되는 온실가스 Scrubber의 처리효율
측정방법 가이드라인 39
1.2. 문제점 46
2. 기존 측정 방법 대안 46
2.1. 개요 46
2.2. 측정방법 46
Ⅳ. 실증 시험 49
1. 기존 방법과 측정 대안 실증 시험 49
1.1. 기존 측정방법과 비교 실증 49
2. 분석결과 58
2.1. 유량이 100LPM일 때 58
2.2. 유량이 200LPM일 때 60
2.3. 유량이 300LPM일 때 62
Ⅳ. 결론 64
참고문헌 65
영문초록 66
감사의 글 68

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