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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학위논문
- 저자정보
- 지도교수
- 金相憲
- 발행연도
- 2018
- 저작권
- 한밭대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.
이용수5
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본 연구에서는 현재 STI(Shallow Trench Isolation) CMP(Chemical Mechanical Planarization/Polishing) slurry로 각광 받고 있는 CeO2 (Cerium(IV) Oxide) 연마입자의 합성을 위하여 분무열분해를 이용하여 CeO2 마이크로입자를 합성 후 이를 YTZ(Yttrium Stabilized Zirconia) 볼을 사용한 볼밀로 분쇄하여 나노 크기의 입자를 합성하였다. 유기첨가제인 EG(ethylene glycol)과 CA(citric acid)를 첨가하여 중공성 및 다공성을 갖는 CeO2 마이크로입자를 제조하였으며 첨가량에 따른 특성을 비교하였다.
제조된 나노입자분말의 형태적 특성을 알아보기 위하여 SEM, XRD, TEM 을 통하여 분말의 특성을 분석하였다. 또한 제조된 CeO2 입자의 Ce(III) oxide에서 Ce(IV) oxide로의 전환 정도를 알아보기 위해 XPS 분석을 하였고, YTZ ball을 이용한 습식 볼밀링 과정 후 CeO2 분말에 포함되었을 Zirconium의 검출 여부를 알아보기 위하여 EDX 및 XPS 분석을 하였다.
제조된 나노입자분말의 형태적 특성을 알아보기 위하여 SEM, XRD, TEM 을 통하여 분말의 특성을 분석하였다. 또한 제조된 CeO2 입자의 Ce(III) oxide에서 Ce(IV) oxide로의 전환 정도를 알아보기 위해 XPS 분석을 하였고, YTZ ball을 이용한 습식 볼밀링 과정 후 CeO2 분말에 포함되었을 Zirconium의 검출 여부를 알아보기 위하여 EDX 및 XPS 분석을 하였다.
목차
목 차표 목 차 ⅰ그 림 목 차 ⅱ국 문 요 약 ⅸⅠ. 서 론 1Ⅱ. 이 론 31. 화학기계연마(Chemical Mechanical Planarization/Polishing ; CMP) 32. 화학기계연마 슬러리(CMP Slurry) 73. STI(Shallow Trench Isolation) CMP 84. 금속 산화물의 합성법 9(1) 분무열분해법(Spray Pyrolysis) 9(2) Sol-gel법 12(3) 수열합성법(Hydrothermal method) 13Ⅲ. 실 험 141. 분무열분해를 이용한 나노 금속 산화물의 합성(CeO2) 14(1) 시약 및 기기 14(2) 실험 방법 14(3) 분무열분해 시 금속 산화물의 반응식 182. 측정 및 분석 19(1) Scanning Electron Microscopy(SEM) 분석 19(2) X-Ray Diffractometer(XRD) 분석 19(3) Transmission Electron Microscopy(TEM) 분석 19(4) X-ray Photoelectron Spectroscopy(XPS) 분석 19(5) Energy Dispersive X-ray spectrometer(EDX) 분석 20IV. 결과 및 고찰 211. Ce(III)(NO3)3 전구체 수용액으로 분무열분해를 이용한 CeO2의 합성 및 특성 212. (NH4)2Ce(IV)(NO3)6 전구체 수용액으로 분무열분해를 이용한 CeO2의 합성 및 특성 103V. 결 론 140Ⅵ. 참고문헌 142ABSTRACT 144
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