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논문 기본 정보

자료유형
학위논문
저자정보

김성한 (부산대학교, 부산대학교 대학원)

지도교수
송풍근
발행연도
2017
저작권
부산대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.

이용수14

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2017

TiO2/Ag/TiO2 하이브리드 다층박막의 적외선 반사 특성
김성한 재료공 2017.01 학위논문

2016

DC/RF 마그네트론 스퍼터링법을 이용한 TiO2/Ag/TiO2 하이브리드 다층박막의 적외선 반사 특성
김성한 ,  김서한 ,  송풍근 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2016.11 학술대회자료
DC/RF 마그네트론 스퍼터링법을 이용한 TiO₂/Ag/TiO₂ 다층박막의 전기적 및 광학적 특성
김성한 ,  송풍근 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2016.05 학술대회자료

초록· 키워드

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마그네트론 스퍼터링을 이용하여 증착한 TiO2/Ag/TiO2(TAT) 다층박막의 열반사특성에 대해 연구하였다. 높은 가시광영역에서의 투과도와 적외선영역에서의 반사도를 얻기 위해서, index matching을 이용하여 각층의 두께를 최적화하였다. Ag 두께가 증가함에 따라 표면 플라즈몬 공명에 의해 적외선영역에서의 반사도가 증가하였고 이는 SPR(Surface Plasmon Resonance)에 의한 영향으로 보인다. 이에 따라 TAT 다층박막에서 Ag층의 두께를 12 nm로 설정하였을 때 반사도와 투과도가 우수한 것을 확인할 수 있었다. 열반사 특성을 확인하기 위해 자체적으로 설치한 측정장비를 이용하여 측정한 결과 일반 유리에 비해 50%이상 반사하는 특성을 보였다. 이를 통해 에너지를 절약할 수 있는 창호를 설계할 수 있었다.
#열반사 코팅 #다층박막 #스퍼터링 #OMO구조

목차

제Ⅰ장. 서론 1
제Ⅱ장. 이론적 배경 5
Ⅱ-1. 열반사재료 5
Ⅱ-1-1. Low-E(Low-Emissivity) 유리 5
Ⅱ-1-2. Oxide/Metal/Oxide(OMO) 다층박막 7
Ⅱ-1-2-1. OMO 다층박막의 구조 7
Ⅱ-1-2-2. 굴절률 정합 10
Ⅱ-1-2-3. OMO 다층박막의 특성 13
Ⅱ-2. 스퍼터링 17
Ⅱ-2-1. 스퍼터링 원리 17
Ⅱ-2-1-1. 스퍼터링 기구 18
Ⅱ-2-1-2. DC 스퍼터링 21
Ⅱ-2-1-3. RF 스퍼터링 27
Ⅱ-2-1-4. 스퍼터율(Sputtering yield) 29
Ⅱ-2-2. 마그네트론 스퍼터링 39
제Ⅲ장. 실험장치 구성 및 방법 42
Ⅲ-1. 이론적 계산에 따른 박막의 광학적 특성 평가 42
Ⅲ-2. TiO2/Ag/TiO2 다층박막 증착 43
Ⅲ-3. 박막의 특성 평가 46
제Ⅳ장. 결과 및 고찰 48
Ⅳ-1. 광학적 특성 48
Ⅳ-2. 표면구조 52
Ⅳ-3. 전기적 특성 54
Ⅳ-4. 열반사 효율 57
제Ⅴ장. 결론 62
References 64
Graphical index 67
Abtract 80

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