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논문 기본 정보

자료유형
학위논문
저자정보

신성철 (부산대학교, 부산대학교 대학원)

지도교수
권세훈
발행연도
2017
저작권
부산대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.

이용수3

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

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There is a close relationship between the performance and the heat generation of the electronic device. The heat generation causes a significant degradation of the durability and/or efficiency of the device. It is necessary to develope an effective method to release the generated heat. It is necessary to develop a robust and reliable plating technique of metal layers on commercial substrates with high thermal conductivity, such as alumina (Al2O3), aluminium nitride (AlN), and silicon nitride (Si3N4) in order to meet demands of the printed circuit board (PCB) manufacturing. In this study, an electroless Ni plating technique without sensitization/activation process was developed on the insulating Si3N4 substrate. For surface treatment, OH groups were formed on the surface by using nitric acid. Which provides to increase the number of silane bondings. And the adhesive ability of Ni layer on the Si3N4 substrate improved by using 3-Aminopropyltriethoxysilane (APTES). Next, we formed a Pd-TiO2 adhesion layer to initiate the spontaneous electroless plating. Ni film was deposited on the Pd-TiO2 film by electroless deposition after reducing PdO to Pd using DMAB (Dimethylamine borane). The electrical resistivity of Ni and Cu layers was measured 7.27x10-5 and 1.32x10-6 ohm-cm by four point probe measurement, respectively. The adhesion strength of Ni was 2.49 N by scratch test. The adhesion strength was improved from 2.49N to 3.46N after a thermal shock test possibly due to the removal of hydrogen from Ni-P coating. The thermal resistance of the Si3N4/Pd-TiO2/Ni sample was 0.34W/K, which is similar to the Si3N4/Ni reference sample, indicating that the presence of the TiO2 layer in PCB is negligible in the total heat-dissipation performance.

목차

제 1 장 서 론 4
제 2 장 이론적 배경 7
2.1 방열기판 7
2.1.1 방열 기판의 필요성 7
2.1.2 방열기판 구성 및 소재 10
2.2 세라믹 기판에 전극 형성 방법 11
2.2.1 건식 공정 11
2.2.2 페이스트법 12
2.2.3 습식 공정 12
2.3 무전해 도금 13
2.3.1 무전해 도금의 원리 13
2.3.2 Ni 무전해 도금 14
2.4 밀착력 향상 방법 15
2.4.1 물리적 방법 15
2.4.2 화학적 방법 16
2.5 Pd-TiO2층 형성 19
제 3 장 실험방법 21
3.1 Si3N4기판 세척 21
3.2 Hydololysis 21
3.3 Silanization 21
3.4 Pd-TiO2 ink deposition 22
3.5 무전해 Ni 도금 22
3.6 Cu 전기 도금 23
3.6 특성 측정 및 평가 23
제 4 장 결과 및 고찰 26
4.1 OH기 형성확인 26
4.2 표면 조도 및 두께편차 확인 28
4.3 각 층의 성분 분석 및 결정성 확인 31
4.4 전기적 특성 37
4.5 밀착력 평가 37
4.5.1 cross hatch test 37
4.5.2 스크래치 테스트(scratch test) 41
4.6 열충격 시험(Thermal shock test) 44
4.7 열저항 측정 49
제 5 장 결 론 52
참고문헌 54
Abstract 59

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