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이용수3
제 1 장 서 론 4제 2 장 이론적 배경 72.1 방열기판 72.1.1 방열 기판의 필요성 72.1.2 방열기판 구성 및 소재 102.2 세라믹 기판에 전극 형성 방법 112.2.1 건식 공정 112.2.2 페이스트법 122.2.3 습식 공정 122.3 무전해 도금 132.3.1 무전해 도금의 원리 132.3.2 Ni 무전해 도금 142.4 밀착력 향상 방법 152.4.1 물리적 방법 152.4.2 화학적 방법 162.5 Pd-TiO2층 형성 19제 3 장 실험방법 213.1 Si3N4기판 세척 213.2 Hydololysis 213.3 Silanization 213.4 Pd-TiO2 ink deposition 223.5 무전해 Ni 도금 223.6 Cu 전기 도금 233.6 특성 측정 및 평가 23제 4 장 결과 및 고찰 264.1 OH기 형성확인 264.2 표면 조도 및 두께편차 확인 284.3 각 층의 성분 분석 및 결정성 확인 314.4 전기적 특성 374.5 밀착력 평가 374.5.1 cross hatch test 374.5.2 스크래치 테스트(scratch test) 414.6 열충격 시험(Thermal shock test) 444.7 열저항 측정 49제 5 장 결 론 52참고문헌 54Abstract 59
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