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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학위논문
- 저자정보
- 지도교수
- 백창욱
- 발행연도
- 2017
- 저작권
- 중앙대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.
이용수4
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본 논문에서는 위상 변화 물질을 이용한 주파수 가변 흡수체를 제안하였으며, 마이크로 머시닝 공정으로 제작하였다. 위상 변화 물질 중 가장 큰 on/off 저항 비를 가진 Germanium-Telluride (50:50)를 선택하였고, 기판 고유 손실을 증가시키기 위해 고 저항 실리콘 웨이퍼를 사용하였다. 제안된 흡수체는 구조가 간단한 분할 링 공진기 (Split Ring Resonator ; SRR)에 Germanium-Telluride (50:50)를 결합한 형태로 설계하였으며, 공진기 내의 Germanium-Telluride 상태에 따라 흡수체의 캐패시턴스 값이 변화하여 공진 주파수가 가변되는 원리이다. 열처리 및 전압 펄스 인가 실험을 통하여 Germanium-Telluride의 상태를 변화시켰으며, 비정질 상태에서는 500 KΩ에서 2 MΩ, 결정 상태에서는 40 Ω에서 1.2 KΩ의 저항 값이 측정되었다. S-parameter 측정 결과, 비정질 상태에서 결정 상태로 변화할 시 공진 주파수가 9.33 GHz에서 9.52 GHz로 0.19 GHz 가변이 일어나는 것을 확인했다.
제작된 흡수체에 전압 펄스 파형을 인가하여 Germanium-Telluride의 상태를 스위칭하는 실험에서 발생되는 반복성의 문제는 Germanium-Telluride (50:50)의 조성비에 맞게 증착할 수 있는 공정 조건이 확립한다면 개선될 것이라고 기대된다.
제작된 흡수체에 전압 펄스 파형을 인가하여 Germanium-Telluride의 상태를 스위칭하는 실험에서 발생되는 반복성의 문제는 Germanium-Telluride (50:50)의 조성비에 맞게 증착할 수 있는 공정 조건이 확립한다면 개선될 것이라고 기대된다.
목차
그림목차 iii표 목 차 v1. 서론 11.1 연구의 배경 11.2 전자파 흡수체의 원리 31.3 전자파 흡수물질의 종류 71.4 메타물질 흡수체 81.5 주파수 가변 흡수체 연구 동향 92. 위상 변화 물질을 이용한 주파수 가변 흡수체 설계 152.1 연구의 목적 152.2 흡수체 설계 163. 위상 변화 물질을 이용한 주파수 가변 흡수체 제작 233.1 공정설계 233.2 흡수체 제작 253.3 열처리를 이용한 흡수체 상태 변화 실험 333.4 실험 결과 분석 344. 위상 변화 물질을 이용한 주파수 가변 흡수체의 공정 최적화 364.1 개선된 공정 설계 364.2 개선된 공정을 통한 흡수체 제작 374.3 열처리를 이용한 흡수체 상태 변화 실험 404.4 전압 펄스를 이용한 흡수체 상태 변화 실험 414.5 위상 변화 물질을 이용한 주파수 가변 흡수체 측정 424.6 측정 결과 분석 445. 결론 45참고문헌 46국문초록 48Abstract 49
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