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I. 서론 1II. 이론적 배경 22.1. Gd-이상 스테인레스 강 (Gd-duplex stainless steels) 22.2. Ti-Al-Si-N 도포층 72.3. Cu 박막 82.4. 나노 압침 원리 (Principle of nano-indentation) 92.4.1. 압입자 형상의 효과 (Indentor shape effect) 102.4.2. 나노 압침 곡선 (Load-displacement-time curve) 162.4.3. 나노 압침 시험 192.4.4. 변형 나노 압침 시험 (Modified nano-indentation methods) 222.4.5. 유한요소 해석 (Finite element analysis) 29III. 실험 방법 333.1. 시편준비 333.1.1. Gd-이상 스테인레스 강 333.1.2. Ti-Al-Si-N 도포층 353.1.3. Cu 박막 363.2. 미세조직 관찰 및 화학 조성 분석 383.3. 상분석 383.4. 경도 시험 383.5. 나노 압침 시험 393.5.1. 나노 경도 시험 393.5.2. 동적 나노 압침 시험 393.5.3. 유한요소 해석 393.6. 성능 평가 403.6.1. 부식 시험 403.6.2. 면저항 측정 시험 403.6.3. 자기적 시험 40IV. 결과 및 고찰 414.1. 미세조직 관찰 및 화학 조성 분석 414.1.1. Gd-이상 스테인레스 강 414.1.2. Ti-Al-Si-N 도포층 434.1.3. Cu 박막 464.2. 상분석 494.2.1. Gd-이상 스테인레스 강 494.2.2. Ti-Al-Si-N 도포층 504.2.3. Cu 박막 524.3. 경도 시험 544.4. 나노 압침 시험 554.4.1. 나노 경도 시험 554.4.2. 동적 나노 압침 시험 574.4.3. 유한요소법을 이용한 나노압침 결과 해석 604.5. 성능 평가 674.5.1. Gd-이상 스테인레스 강과 Ti-Al-Si-N 도포층의 내식성 평가 674.5.2. 면저항 측정 시험 694.5.3. 자기적 시험 70V. 결론 71참고문헌 73영문요약 76
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