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이용수1
제1장 서론 3제2장 이론적 배경 52.1 열전소자의 기초 이론 52.1.1 Seebeck 효과 52.1.2 Peltier 효과 82.1.3 Thomson 효과 82.1.4 열전 성능 지수(ZT) 92.1.5 박막 전착 방법 142.2 열전 재료 162.2.1 Bi2Te3 162.2.2 Bi2(Te,Se)3 17제3장 실험방법 203.1 열전 박막의 형성 203.1.1 Bi2(Te,Se)3 박막의 형성 203.1.2 Cu 도핑 된 Bi2(Te,Se)3 박막의 형성 213.2 열처리 233.3 박막의 결정구조 및 형상 분석 233.4 전기 및 열전 특성 평가 23제4장 결과 및 고찰 254.1 Bi2(Te,Se)3 박막 형성 및 열전특성 평가 254.1.1 Bi2(Te,Se)3 박막 결정구조 254.1.2 Bi2(Te,Se)3 박막 표면 및 조성 284.1.3 Bi2(Te,Se)3 박막 전기 및 열전 특성 354.2 Cu 도핑 된 Bi2(Te,Se)3 박막 형성 및 열전특성 평가 414.2.1 Cu 도핑 된 Bi2(Te,Se)3 박막 결정구조 및 형상 414.2.2 Cu 도핑 된 Bi2(Te,Se)3 박막 전기 및 열전 특성 45제5장 결론 52참고문헌 54Abstract 57
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