초음파 화학 처리법으로 제조된 ZnO 나노구조 가스센서의 악취가스 감지에 대한 열처리 효과 :Post annealing effect of odor gas sensitivity of ZnO nanostructure gas sensor prepared by ultrasonic process

권대환

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자료유형: 학위논문

저자정보: 권대환 (경북대학교, 경북대학교 대학원)

지도교수: 허증수

발행연도: 2016

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2018

초음파 화학 증착법을 이용한 ZnO Nano구조를 가진 CH₄와 H₂S 가스센서의 감응특성 분석

권대환 , 박규태 , 유철희 외 3명 한국가스학회 학술대회논문집 2018.05 학술대회자료

2017

ZnO 나노 가스센서의 열처리효과에 대한 H2S와 Toluene 가스 감응특성 비교

권대환 , 김지애 , 유대황 외 1명 한국가스학회 학술대회논문집 2017.05 학술대회자료

2016

초음파 화학 처리법으로 제조된 ZnO 나노구조 가스센서의 악취가스 감지에 대한 열처리 효과

권대환 금속신소재공학과 2016.01 학위논문

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Alumina board which was coated with Pt and Zn film as the electrode and the seed layer on each side was prepared. Pt and Zn film were fabricated by ion plasma and DC sputtering methods, respectively. Then ZnO nanostructured sensors were produced on Zn film by ultrasonic process in 0.01M aqueous solution of C6H12N4 and Zn(NO3)26H2O. To examine the effect of the thermal treatment on the gas response characteristics, as-prepared samples were heat-treated at 400oC for 1h in nitrogen and oxygen atmosphere, and the characteristics of samples were compared with as-prepared ones and original one(non heat-treated). The sensitivity of the heat-treated sample in oxygen and nitrogen atmosphere showed about 20% and 10% higher than those of original sample, especially those of samples were showed higher values in response characteristics, repeatability and linearity about low concentration. According to the XRD analysis, it shows that annealing process effects on the ZnO crystallizability and it brings improvement of response characteristics. With heat-treated sample in oxygen atmosphere, toluene gas and H2S was measured, which is odor gas. As a result of the measurement, H2S indicated high response characteristic in low concentration(ppb level) and 30% higher sensitivity in the same concentration(1 ppm)

#Annealing #odor gas #ZnO nanostructure #Ultrasonic process #gas sensor

Ⅰ. 소개 1
Ⅱ. 이론 3
2-1 휘발성 유기 화합물(VOCs) 3
2-2 ZnO의 특성 7
2-3 반도체 가스센서의 특성 13
2-4 초음파 화학 합성 22
Ⅲ. 실험 29
3-1 센서의 제작 29
3-2 ZnO 나노구조의 제조 32
3-3 센서의 감응 특성 측정 36
Ⅳ. 결과 및 고찰 38
4-1 ZnO 나노구조의 분석 38
4-2 ZnO 나노구조 센서의 감응 특성 평가 45
4-3 ZnO nanorods 센서의 재현성 60
4-4 열처리된 ZnO nanorods 센서의 악취가스에 대한 감응 특성 비교 64
Ⅴ. 결론 72
참고 문헌 74
영문초록 81

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