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논문 기본 정보

자료유형
학위논문
저자정보

엄인섭 (동아대학교, 동아대학교 대학원)

지도교수
정태훈
발행연도
2016
저작권
동아대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.

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이 논문의 연구 히스토리 (4)

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두 개의 평행한 와이어(TPWR, Two Parallel Wire Resonator)를 기본으로 한 새로운 유형의 마이크로파 대기압 플라즈마 젯은 임피던스 매칭이 50 Ω으로 제작된 공진기이다. 마이크로파 대기압 플라즈마 젯은 직경 6.5 mm의 스테인리스 스틸 와이어로 가공되었으며 와이어 사이의 간격은 0.5 mm로 형성하였다. 공명주파수 1 GHz에 대한 마이크로파 대기압 플라즈마 젯의 길이는 75 mm이다.
마이크로파 대기압 플라즈마 젯의 설계는 유한요소법을 기초로한 컴퓨터 시뮬레이션(HFSS, High Frequency Structural Simulator)을 통하여 수행되었다. 시뮬레이션은 안정적인 마이크로파 대기압 플라즈마 발생에 적합한 전기장, 공명주파수, 반사계수 그리고 급전점을 계산하였다. 마이크로파 대기압 플라즈마 젯은 0.4 - 9.02 W의 범위의 전력을 수용한다. 그러므로 마이크로파 대기압 플라즈마 젯은 플라즈마 발생이 가능하다.

목차

Ⅰ. 서 론 1
Ⅱ. 이 론 3
1. 플라즈마 발생 3
2. 온도에 따른 플라즈마 분류 4
3. 마이크로파 플라즈마 6
4. 전송선로 이론(Transmission line theory) 10
Ⅲ. 실험 장치 및 실험 방법 12
Ⅳ. 실험 결과 15
Ⅴ. 결 론 28
참고문헌 30
Abstract 34

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