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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학위논문
- 저자정보
- 지도교수
- 이응기
- 발행연도
- 2016
- 저작권
- 공주대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.
이용수3
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Existing OLED lighting have been produced on square shaped glass substrate. This study developed an alignment system between flexible substrate and mask stage for the implementation of the flexible OLED lighting pattern shape.
In the roll to roll transfer system, the tension was controlled through varying the speed of winder based on load cell value. Via aligning the edge position of the substrate in vision system, the lateral position could be controlled through the roll guide.
The alignment is important to minimize shadow effects and to evaporate pattern shape. In order to control gap and alignment between flexible substrate and mask, an algorithm was introduced to align the error at the same time, which confirmed the accuracy of the alignment.
In the roll to roll transfer system, the tension was controlled through varying the speed of winder based on load cell value. Via aligning the edge position of the substrate in vision system, the lateral position could be controlled through the roll guide.
The alignment is important to minimize shadow effects and to evaporate pattern shape. In order to control gap and alignment between flexible substrate and mask, an algorithm was introduced to align the error at the same time, which confirmed the accuracy of the alignment.
목차
Ⅰ. 서 론 11. 연구의 배경 12. 국내 외 기술 동향 23. 연구 내용 4Ⅱ. 롤투롤 진공 증착 시스템 구성 51. 비전 시스템 52. 장력 제어 시스템 73. 사행 제어 시스템 94. Flexible 기판?mask 정렬 시스템 105. 운용 소프트웨어 및 기능 12Ⅲ. 기판-mask의 정렬 오차 추정 방법 141. 기판-mask 정렬 오차 142. 기판-mask gap 오차 163. 기판-mask 정렬, gap 동시제어 17Ⅳ. 실험 및 결과 191. 비전 시스템의 반복성 측정 191) 정렬 마크 중심점 검출 반복성 측정 192) Flexible 기판 edge 검출 반복성 측정 202. 사행 제어 221) 사행 제어 전 flexible 기판의 edge 검출 232) 사행 제어 후 flexible 기판의 edge 검출 233. 장력 제어 254. Flexible 기판?mask 정렬 261) 기판-mask 정렬 결과 282) 기판-mask gap 정렬 결과 30Ⅴ. 결론 31참고문헌 32Abstract 34
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