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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학위논문
- 저자정보
- 지도교수
- 성인하
- 발행연도
- 2015
- 저작권
- 한남대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.
이용수6
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목차
1. 서론 11.1 연구 배경 11.2 연구 목적 51.3 기존의 평탄화 기술 92. 이론적 배경 102.1 Chemical Mechanical Planarization의 원리 102.2 공정변수 132.3 전산유체 역학 152.4 FSI 기초 이론 213. 유한요소해석 모델링 253.1 모델링 253.2 조건별 유한요소해석 모델 273.2.1 입자형상에 따른 모델링 273.2.2 연마입자의 입사 각도에 따른 모델링 293.2.3 연마입자의 크기에 따른 모델링 313.2.4 pad의 표면디자인에 따른 모델링 334. 해석 조건 364.1 입자형상에 따른 해석 조건 364.2 연마입자의 입사 각도에 따른 해석 조건 394.3 연마입자의 크기에 따른 해석 조건 404.4 pad의 표면디자인에 따른 해석 조건 415. 해석결과 및 고찰 445.1 입자형상에 따른 해석 결과 445.2 연마입자의 입사 각도에 따른 해석 결과 475.3 연마입자의 크기에 따른 해석 결과 515.4 pad의 표면디자인에 따른 해석 결과 536. 결론 70Abstract 74Reference 76
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