지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학위논문
- 저자정보
- 지도교수
- 최성대
- 발행연도
- 2015
- 저작권
- 금오공과대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.
이용수1
이 논문의 연구 히스토리 (2)
- 이 논문의 후속연구가 궁금하신가요?
- 연관 학술논문 또는 학술발표를 통해 보다 발전된 연구결과를 확인하실 수 있습니다.
- 이 논문의 연구 히스토리 확인하기
초록· 키워드
오류제보하기
With the development of high-tech industries, product requirements are high precision, miniaturization, has been lighter. As a result, This demand for the development of nano-precision technology is increasing. The need for high precision work for the micro parts that need has emerged.
Ultra-precision working differ by the shape, size and material of the subject, but generally refers to the accuracy of the range of 1/10000 ~ 1 /1000000 (mm).
In this paper, by using a piezoelectric actuator, and manufacture an ultra-precision stage, we are trying to study ultra-precision positioning technology.
Ultra-precision working differ by the shape, size and material of the subject, but generally refers to the accuracy of the range of 1/10000 ~ 1 /1000000 (mm).
In this paper, by using a piezoelectric actuator, and manufacture an ultra-precision stage, we are trying to study ultra-precision positioning technology.
목차
제 1 장 서 론 11.1 연구 배경 11.2 연구 목적 3제 2 장 이론적 배경 52.1 스테이지 52.2 압전 세라믹 92.3 나노 모터 202.4 초정밀 스테이지의 적용 24제 3 장 장치 구성 및 실험 방법 263.1 압전 세라믹 특성실험 263.2 초정밀 스테이지 설계 30제 4 장 결과 및 고찰 364.1 압전 세라믹의 성능 364.2 초정밀 스테이지의 특성 40제 5 장 결론 42[참고 문헌] 43
최근 본 자료
댓글(0)
0