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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학위논문
- 저자정보
- 지도교수
- 윤일구
- 발행연도
- 2015
- 저작권
- 연세대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.
이용수12
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본 논문은 a-IGZO 소자를 제작 시 소자의 특성 개선을 위해 active pattern에 관한design에 관한 연구를 진행 하였다. 그리고 source와 drain을 증착 후 열처리 공정에 따른 소자의 개선을 시키고자 다양한 온도와 시간을 이용하여 실험을 진행 하였다. 기존에 많이 사용하고 있는 전극 물질인 Al 대비 비저항이 낮은 Au와 Cu를 이용하여 실험을 진행 소자의 특성을 비교 분석하였다. 3가지 전극 물질인 Al, Au, 그리고 Cu의 소자에 대해 기본적인 특성인 Vth, ？EF, SSUB을 비교 하였다. 각각의 소자에 대해 VGS에 positive와 negative bias stress를 인가하여 소자간 변화를 비교 하였다. OLED의 backplane에 사용되는 반도체 박막 트랜지스터는 전류가 항상 흐르기 때문에 기존 bias stress와 다른 전류 입력 방식의 positive current bias stress를 이용하여 소자간 변화를 연구 하였다.
목차
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