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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학위논문
- 저자정보
- 지도교수
- 류시형
- 발행연도
- 2015
- 저작권
- 전북대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.
이용수2
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본 연구에서는 AFM 기반의 나노 전기 화학 증착 ( ECD)은 금속 기판에 적용 조사하였다. 미세액적 형태 의 CuSO4 와 H2SO4 혼합물 수용액에서 구리 나노 구조물의 펄스를 이용하여 금 기판 상에 AFM으로 증착 시킨다. 증착 영역을 국부화하려면 몇 백 나노초 펄스, 몇 마이크로 리터 전해질 이 사용된다. NanoECD는 인가 펄스 진폭, 펄스 주파수, 펄스 폭, 팁 스캔 속도, 오프 타임 전압 펄스를 인가하는 시간, 및 전해질 농도에 따른 특징이다. 이 100 ㎚ 이하 의 크기를 갖는 금속이 AFM 시스템에서 ECD 기술에 의해 제조되는 것이 확인되었다. 연구 결과 나노 구조물이 기계적, 및 전자식 -photonic 장치 의 제조에 효과적으로 사용될 수 있음을 알 수 있다.
목차
제 1장 서론1.1 연구 배경1.2 연구 동향1.3 연구 목적제 2장 원자현미경의 원리와 초단펄스 전해증착의 원리2.1 원자현미경의 원리2.2 초단펄스 전해증착의 원리2.2.1 전해증착의 원리2.2.2 초단펄스 전해증착의 원리2.3 전기 이중층과 증착영역 국부화제 3장 실험 장치 및 방법3.1 실험 시스템 구성3.1.1 원자현미경(Atomic Force Microscope)3.1.2 펄스 발생기(Pulse generator)3.1.2 실험 시편3.2 원자현미경 프로브3.3 실험방법제 4장 실험 결과 및 분석4.1 전해액의 종류와 농도4.2 펄스 전압4.3 스캔 모드제 5장 결론참고문헌
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