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논문 기본 정보

자료유형
학위논문
저자정보

변혜령 (강원대학교, 강원대학교 대학원)

지도교수
류미이
발행연도
2015
저작권
강원대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

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본 논문에서는 MEE(migration-enhanced epitaxy) 기법을 이용하여 성장한 InP/InGaP 양자구조(QSs; quantum dots+quantum dashes) 시료들과 MBE(molecular beam epitaxy) 장비를 이용하여 성장한 InP/GaP SPS(short-period superlattice) 시료들의 광학적 특성을 포토루미네션스(PL; photoluminescence)과 시간분해 포토루미네션스(TRPL; time-resolved PL) 측정을 이용하여 분석하였다. InP/InGaP QSs 시료들은 GaAs 기판에 성장하였으며 spacer layer 두께를 15 nm(SP15), 30 nm(SP30), 그리고 50 nm(SP50)로 조절하여 성장하였다. InGaP spacer layer 두께가 증가하면서 PL 피크는 청색편이(blueshift) 하였고, PL 세기는 증가하였다. InGaP spacer layer의 두께가 증가함에 따라 PL 피크의 청색편이와 PL 세기의 증가는 InP 양자층 사이의 결합(coupling)이 감소하여 양자데쉬의 길이는 감소하고 높이와 폭은 증가하여 양자점 형태로 성장하고 양자점의 밀도가 증가한 것으로 설명할 수 있다.
발광 파장과 온도 변화에 대한 PL 소멸 곡선을 측정하였다. SP00와 SP15 시료는 PL 피크에서 가장 긴 PL 소멸 시간을 나타내었으며, SP30과 SP50은 발광 파장이 증가함에
따라 PL 소멸 시간이 급격하게 증가하였다. 장파장에서의 PL 소멸 시간의 증가는 높은 에너지 상태의 작은 양자구조(양자데쉬/양자점)에서 빠져 나온 운반자들이 빠르게 낮은 에너지 상태의 상대적으로 큰 양자구조에 재포획(recapture)되기 때문으로 설명된다. 이러한 PL과 TRPL 결과로부터 spacer layer 두께를 조절함으로써 InP/InGaP 양자구조 시료의 구조적 특성과 광학적 특성이 변화하는 것을 확인하였다.
InP/GaP SPS 층은 659쌍의 GaP(2.9 Å)과 InP(3.1 Å)로 이루어졌으며, 성장 온도를 400℃(GT400), 425℃(GT425), 460℃(GT460) 그리고 490℃(GT490)로 변화하여 성장하였다. 10 K에서 PL 피크는 성장 온도를 400℃에서 490℃까지 증가하였을 때 634 nm에서 692 nm로 장파장으로 이동하였으며, PL 세기는 GT425가 가장 강하게 나타나고 GT400 시료의 PL 세기가 가장 약하게 나타났다. 그러나 260 K에서 PL 세기는 GT460 시료가 가장 강하게 나타나고, GT425 시료가 가장 약하게 나타났다. 성장 온도가 증가함에 따라 밴드 갭이 감소하는 것은 특정 온도(460℃)이상에서 LCM(lateral composition modulation)이 형성되는 것으로 설명할 수 있다. 460℃와 490℃에서 성장한 시료의 PL 반치폭(full width at half maximum)이 매우 넓은 것은 LCM 형성으로 인해 선폭이 비균질적으로 넓어졌음을 의미한다. PL 소멸 시간은 400℃와 425℃에서 성장한 시료들보다 LCM이 형성된 460℃와 490℃에서 성장한 시료들이 더 길게 나타났다. 이러한 결과들로부터 LCM 형성을 통해 물질의 밴드 갭 에너지를 조절할 수 있고, 구조적 특성과 광학적 특성이 변하는 것을 확인하였다.

목차

Ⅰ. 서 론 ----------------------------------------- 1
Ⅱ. 이론적 배경 --------------------------------------- 4
1. 양자구조(quantum structures) 성장 ---------------- 4
2. 단주기 초격자(Short-Period Superlattice) 구조 ---- 7
Ⅲ. InP/InGaP 양자구조 (QSs)의 광학적 특성 ----------- 10
1. 소개 -------------------------------------------- 10
2. 시료 및 실험방법 -------------------------------- 11
3. 결과 및 토의 ------------------------------------ 15
4. 요약 -------------------------------------------- 32
Ⅳ. InP/GaP Short-Period Superlattice(SPS) 구조의 광학적 특성 ----- 33
1. 소개 -------------------------------------------- 33
2. 시료 및 실험방법 -------------------------------- 34
3. 결과 및 토의 ------------------------------------ 36
4. 요약 -------------------------------------------- 51
Ⅴ. 결 론 ---------------------------------------- 52
참고문헌 --------------------------------------------- 54

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