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이용수1
목 차I. 서론 및 연구 목적 1II. 이론적 배경 32-1. 질화 처리 32-1-1. 가스 질화 42-1-2. 염욕 질화 52-1-3. 가스 연질화 62-1-4. 이온 질화(플라즈마 질화) 72-2. Diamond-like Carbon(DLC) 82-3. 마모 122-3-1. 마모의 정의 및 분류 122-3-2. 고전적 마모 특성의 평가 152-3-3. 현대적 마모 특성의 평가 162-4. 피로 파괴 172-4-1. 피로 균열의 생성 182-4-2. 피로 균열 성장 및 파괴 19III. 실험방법 233-1 시험재료 및 방법 233-1-1. 시험 재료 233-1-2. 시편의 제조 243-2. 스크린 질화 · DLC 박막 증착 253-3. 질화층 · DLC 박막 물성 평가 283-3-1. 질화층 경도 측정 283-3-2. DLC 박막의 경도 · 잔류 응력 측정 293-4. 스크래치 시험 293-5. 마모 시험 303-6. 고주기 피로 시험 32IV. 결과 및 고찰 334-1 미세 구조 관찰 및 상 분석 334-1-1. 미세 구조 관찰 334-1-2. 상 분석 354-2. 질화층 · DLC 박막의 기계적 특성 374-3. 질화층 · DLC 박막의 밀착력 평가 404-4. 질화층 · DLC 박막의 내마모 특성 평가 444-5. 고주기 피로 특성 평가 484-5-1. 피로 수명 484-5-2. 피로 표면 분석 514-5-3. 파단면 관찰 56V. 결론 60VI. 참고문헌 62Abstract
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