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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학위논문
- 저자정보
- 지도교수
- 朴永佑
- 발행연도
- 2014
- 저작권
- 충남대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.
이용수1
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Maintaining consistent power level is important factor in laser micromachining because amount of ablation material depends on laser fluence, which is the laser energy per unit time and surface area. This research aims to find out method of laser power stabilization for laser micromachining. Initially, two kinds of lasers are selected and power stabilization is tested with various power levels. Using optical attenuator which consisting the half-wave plate, the linear polarizer and the PID controller using Labview flame is set up for the laser power stabilization system. it advantages is simple and most laser source is able to apply. Then designed power stabilization system is tested with two kinds of laser source 1064nm fiber laser and femto second laser. then laser power fluctuation is 0.04% at 1064nm fiber laser and 0.2% at femto second laser. It is similar performance with commercial power stabilization system. Finally, we tested Si wafer processing with power stabilization system. Experimental result was improved machining accuracy.
목차
Ⅰ. 서론 11.1 연구배경 11.2 Literature Review 21.2.1 음향광학변조기를 이용한 방법 21.2.2 전기광학변조기를 이용한 방법 41.3 연구 목적 및 연구 내용 7Ⅱ. 레이저 출력 안정화 장치 설계 82.1 관련이론 82.1.1 편광이론 82.1.2 PID 제어 이론 92.2 레이저 출력안정화 장치의 구성 112.2.1 시스템 설계 112.2.2 시스템 제어 13Ⅲ. 레이저 출력 안정화 실험 153.1 1064nm 파이버 레이저 153.1.1 1064nm 파이버 레이저 변동 실험 153.1.2 1064nm 파이버 레이저 출력안정화 실험 173.2 펨토초 레이저 203.2.1 펨토초 레이저 변동 실험 203.2.2 펨토초 레이저 출력안정화 실험 213.3 상용 출력안정화 시스템 243.3.1 상용 레이저 출력 안정화 실험 243.3.2 상용시스템과 개발시스템 비교 253.4 가공실험 263.4.1 가공 조건별 실험 263.4.2 출력안정화 장치 사용 시 가공 비교 실험 29Ⅳ. 결론 및 추후과제 36Ⅴ. 참고문헌 37
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