지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학위논문
- 저자정보
- 지도교수
- 고국원
- 발행연도
- 2013
- 저작권
- 선문대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.
이용수5
이 논문의 연구 히스토리 (11)
2013
2012
2011
백색광 간섭계 속도 향상을 위한 병렬 처리 시스템 개발
심재환
,
고국원
정보 및 제어 논문집
2011.10
학술대회자료
백색광 간서계 속도 향상을 위한 병렬 처리 시스템 개발
심재환
,
고국원
정보 및 제어 논문집
2011.10
학술대회자료
대 면적 카메라가 적용된 백색광 간섭계의 3차원 높이 연산 고속화에 대한 연구
심재환
,
고국원
대한전자공학회 학술대회
2011.06
학술대회자료
대면적 백색광 간섭계의 3D-Data 연산 고속화에 관한 연구
심재환
,
고국원
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2011.06
학술대회자료
대면적 백색광 간섭계의 속도향상에 관한 연구
심재환
,
고국원
정보 및 제어 논문집
2011.04
학술대회자료
- 이 논문의 후속연구가 궁금하신가요?
- 연관 학술논문 또는 학술발표를 통해 보다 발전된 연구결과를 확인하실 수 있습니다.
- 이 논문의 연구 히스토리 확인하기
초록· 키워드
오류제보하기
최근 반도체 산업은 스마트 기기 및 핸즈프리, 태블릿 PC 등의 보급으로 급격하게 성장하고 있다. 이에 따라서 반도체 부품은 소형화 되고 고집적화 되고 반도체의 패턴 및 형상이 더욱 미세해 지고 있다. 반도체 제조 공정에서는 각종 소형 제품들의 보급률이 높아짐에 따라 다품종 대량생산을 하기 위해 반도체 검사기의 고속화와 정밀도, 반복성 등에 많은 관심을 보이고 있다.
반도체를 검사하는 방법에는 모아레를 이용한 위상천이 간섭계, 광간섭을 이용한 백색광 간섭계, 공초점 현미경 등이 있다. 이중 광 간섭을 이용한 백색광 간섭계는 위상천이간섭계의 2π 모호성이 없으며, 광학의 구성이 간단하고 공초점 현미경 보다 검사의 속도가 빠르다는 장점을 가지고 있다.
반도체 생산공정에서는 더욱 넓은면적을 빠르게 검사하는 검사기를 요구하고 있으며 이에 따라서 반도체 검사장비 업체에서는 백색광 간섭계의 대면적화에 대한 연구가 활발히 이루어지고 있다. 하지만 백색광 간섭계의 대면적화는 측정면적이 커짐에 따라서 연산량의 증가와 메모리 점유율 증가로 인해 검사속도가 저하된다는 문제점을 가지고 있다
본 논문은 백색광 간섭계를 이용하여 반도체 제조공정의 넓은 면적을 빠르게 검사할 수 있는 검사기 개발에 대한 요구를 만족 시키기 위해 4M camera를 적용한 백색광 건섭계를 개발하고, 검사속도의 고속화를 위해 2PC parallel system과 multi-thread, multi-core algorithm을 제안 하였으며, auto focus 속도 개선을 위해 삼각측량법을 이용한 multi-laser auto focus 방법을 제안하였다.
반도체를 검사하는 방법에는 모아레를 이용한 위상천이 간섭계, 광간섭을 이용한 백색광 간섭계, 공초점 현미경 등이 있다. 이중 광 간섭을 이용한 백색광 간섭계는 위상천이간섭계의 2π 모호성이 없으며, 광학의 구성이 간단하고 공초점 현미경 보다 검사의 속도가 빠르다는 장점을 가지고 있다.
반도체 생산공정에서는 더욱 넓은면적을 빠르게 검사하는 검사기를 요구하고 있으며 이에 따라서 반도체 검사장비 업체에서는 백색광 간섭계의 대면적화에 대한 연구가 활발히 이루어지고 있다. 하지만 백색광 간섭계의 대면적화는 측정면적이 커짐에 따라서 연산량의 증가와 메모리 점유율 증가로 인해 검사속도가 저하된다는 문제점을 가지고 있다
본 논문은 백색광 간섭계를 이용하여 반도체 제조공정의 넓은 면적을 빠르게 검사할 수 있는 검사기 개발에 대한 요구를 만족 시키기 위해 4M camera를 적용한 백색광 건섭계를 개발하고, 검사속도의 고속화를 위해 2PC parallel system과 multi-thread, multi-core algorithm을 제안 하였으며, auto focus 속도 개선을 위해 삼각측량법을 이용한 multi-laser auto focus 방법을 제안하였다.
목차
제 1 장 서 론 11.1 연구배경 및 동기 11.2 연구 목적 3제 2 장 백색광 간섭계의 기본 원리 42.1.1 백색광 간섭계의 원리 42.1.2 백색광 간섭계의 정점검출 알고리즘 72.1.3 백색광 간섭계의 구성 8제 3 장 본 론 113.1.1 Auto focusing 113.1.2 Macro auto focusing 133.2.2 Micro auto focusing 173.2.3 레이져를 이용한 고속 Auto focusing 203.3.1 Multi-Core, Multi-Thread 알고리즘 273.3.2 고속 scanning을 위한 on the flying 기법 313.3.3 Multi-PC를 이용한 분할 연산 알고리즘 33제 4 장 결 과 364.1.1 실험환경의 구성 364.2.1 제안된 Multi-thread, Multi-core 실험 결과 384.2.2 제안된 Multi-PC를 이용한 분할연산 알고리즘 실험 결과 404.2.3 제안된 레이져를 이용한 고석 Auto focusing 실험 결과 324.2.4 제안된 고속 scanning을 위한 on the flying 기법 실험 결과 454.3.1 제안된 방법들의 최종 실험결과 및 비교 47제 5 장 결 론 52참 고 문 헌 54영 문 초 록 57감사의 글
최근 본 자료
댓글(0)
0