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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학위논문
- 저자정보
- 지도교수
- 류시형
- 발행연도
- 2013
- 저작권
- 전북대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.
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In this research, a novel nano electrochemical machining (ECM) technique by using a pulse applied atomic force microscope (AFM) is presented applicable to hard metals. A micro droplet electrolyte, diluted H2SO4 solution, is injected around the AFM probe tip by a syringe and the droplet forms electrolyte meniscus between the crystal bottom and material surface. Nano electrochemical machining characteristics are investigated according to pulse frequency, pulse amplitude, pulse width, off-time voltage, tip feed rate, applying pulse time, and electrolyte concentration. Since no mound, typically formed in mechanical plowing, is found around the machined features, it is confirmed that the nano-structures are created by ECM process. ECM stability and repeatability are improved remarkably by using the micro-droplet electrolyte since bubble generation region is confined. Various nano-pits, -grooves, -cavities are fabricated successfully on the copper and stainless steel substrates by controlling pulse conditions and AFM parameters. The research result has great potential for manufacturing nano-mechanical, -electronic, and -photonic devices and components.
목차
제 1장 서론 11.1 연구 배경 11.2 연구 동향 31.3 연구 목적 6제 2장 이론적 배경 82.1 전해가공 82.1.1 전해가공의 원리 102.1.2 전해 국부화 112.2 재료 제거율(MRR) 14제 3장 실험 장치 및 방법 163.1 실험 시스템 구성 163.1.1 원자현미경(Atomic Force Microscope) 213.1.2 펄스 발생기(Pulse generator) 223.2 원자현미경 프로브 243.3 실험방법 27제 4장 실험 결과 및 분석 304.1 펄스 조건에 따른 구리의 나노 전해가공 특성 304.1.1 펄스 폭이 나노 구조에 미치는 영향 324.1.2 펄스 전압이 나노 구조에 미치는 영향 344.1.3 Off-time voltage가 나노 구조에 미치는 영향 364.1.4 펄스 인가 시간이 나노 구조에 미치는 영향 384.1.5 탐침의 이송속도가 나노 구조에 미치는 영향 404.1.6 나노 홈 및 캐비티 가공 424.2 펄스 조건에 따른 SS 304의 나노 전해가공 특성 444.2.1 펄스 전압이 나노 구조에 미치는 영향 454.2.2 나노 홈 및 캐비티 가공 46제 5장 결론 50참고문헌 53
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