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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학위논문
- 저자정보
- 지도교수
- 박종윤
- 발행연도
- 2014
- 저작권
- 성균관대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.
이용수1
이 논문의 연구 히스토리 (5)
2014
2013
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본 연구에서는 폴리스틸렌 (Polystyrene)과 암모니아 보레인 (Ammonia borane) 고체 소스를 이용하여 열 화학기상증착법 (Thermal chemical vapor deposition)으로 BCN 박막을 SiO2 기판 위에 직접적으로 합성하였다. 합성된 BCN 박막의 구조적 형태를 주사 전자 현미경 (Scanning electron microscopy)과 원자힘 현미경 (Atomic force microscopy)으로 관찰하였다. 원자힘 현미경을 통한 RMS roughness 분석을 수행한 결과, 그 수치가 0.5 ~ 2.6 nm로 매우 낮은 것을 확인하였다. 그리고 X-선 광전자 분광법 (X-ray photoelectron spectroscopy)과 라만분광법 (Raman spectroscopy)을 통하여 투입한 폴레스틸렌의 양에 따라서 합성된 BCN 박막의 조성 비율이 변화하는 것을 확인하였다. BCN 박막 전계 효과 트랜지스터를 제작하여 박막의 조성 비율에 따라 전기 전도도가 제어되는 양상을 확인하였고, 추가적으로 합성온도 변화에 따른 BCN 박막의 전기적인 특성이 제어되는 양상을 확인하였다.
목차
제 1 장 서론 91.1 연구 배경 91.2 이론적 배경 121.2.1 그래핀의 전자구조 및 전도 특성 131.2.2 BCN 박막의 구조적 특성 191.2.3 그래핀의 특성 201.2.4 그래핀의 합성방법 211.2.5 그래핀의 응용 26제 2 장 연구방법 282.1 화학 기상증착법 (Chemical Vapor Deposition, CVD) 282.2 주사 전자 현미경 (Scanning Electron Microscopy, SEM) 302.3 원자힘 현미경 (Atomic Force Microscopy, AFM) 322.4 라만 분광기 (Raman Spectroscopy) 332.4.1 그래핀의 라만 분광 분석 342.4.2 그래핀의 도핑과 육각형의 질화붕소의 라만 분광 분석 362.5 X-선 광전자 분광법 (X-ray Photoelectron Spectroscopy, XPS) 37제 3 장 실험 및 결과분석 393.1 BCN 박막의 합성 및 구조분석 393.1.1 실험방법 393.1.2 결과 및 분석 403.2 BCN 박막의 전기적 특성 분석 473.2.1 실험방법 473.2.2 결과 및 분석 48제 4 장 결론 54참고문헌 55Abstract 62
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