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이용수2
Ⅰ. 서론 1Ⅱ. 이론적 배경 41. RTGSV 41.1 RTGSV 개요 41.2 RTGSV 공정 51.3 RTGSV 적용분야 71.3.1 압전소자 71.3.2 Embedded Passives 91.3.3. 자성코팅 101.3.4. 구조재료 코팅 101.3.5. SOFC용 Interconnect 내산화 코팅 101.3.6. 임플란트용 생체 적합성 코팅 12Ⅲ. 실험방법 141. 과립분말 준비 142. RTGSV 코팅 143. 미세구조 분석 16Ⅳ. 결과 및 고찰 171. 필름 두께 171.1. Number of Pass 171.2. Gas Flow Rate 181.3. Feeder Voltage 201.4. Stroke 221.5. Speed 232. SEM 분석 24Ⅴ. 결론 38Ⅵ. 참고문헌 40
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