X-선 거울 모듈의 제작을 통한 단파장 고강도 평행 X-선 형성 :Generation of high intensity monochromatic parallel X-ray beam through using X-ray mirror module

이창준

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자료유형: 학위논문

저자정보: 이창준 (전남대학교, 전남대학교 대학원)

지도교수: 전인수

발행연도: 2014

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2016

단파장 고강도 평행 X-선 형성을 위한 X-선 거울의 제작

이창준 , 전인수 한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집 2016.04 학술대회자료

2014

X-선 거울 모듈의 제작을 통한 단파장 고강도 평행 X-선 형성

이창준 기계공 2014.01 학위논문

2012

단파장 X-선 형성용 소형 monochromator의 설계

이창준 , Thanh Hai Nguyen , 전인수 대한기계학회 춘추학술대회 2012.04 학술대회자료

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본 논문에서는 Lab 기반 X-선 소스에서 단파장 고강도 평행 X-선 형성을 위한 X-선 거울을 설계, 제작하였다. Substrate의 표면은 point X-선 소스에서 평행 X-선을 형성할 수 있는 포물선을 회전시켜 형성하였고 폴리싱 된 substrate의 표면에 서로 다른 두개의 금속 이중층을 반복적으로 증착하여 X-선 거울을 제작하였다. 제작된 X-선 거울은 증착면의 SEM image와 형상정밀도 및 표면조도 측정을 통해 X-선 거울로서의 적합성을 판별하였다. X-선 거울의 효과를 알아보기 위하여 X-ray system에 적용하였으며 얻어진 X-선 밴드의 image와 X-선 스펙트럼을 이용하여 평행 X-선, 단파장 고강도 X-선을 확인하였다. 제작된
X-선 거울과 Jig를 결합하여 X-선 거울 모듈을 제작하고 X-ray system에 적용하여 단파장 고강도 평행 X-선 형성의 가능성을 확인하였다.

#X-ray mirror module #High intensity monochromatic parallel X-ray beam

List of figures iii
List of tables v
국문초록 vi
1. 서 론 1
1.1 연구배경 1
1.2 연구목적 2
2. 이론적 배경 3
2.1 X-선 거울 3
가. 반사율 3
나. 반사거울의 종류 3
2.2 X-선 다층박막 4
가. X-선 다층박막의 특성 4
나. X-선 다층박막의 제작법 5
2.3 스퍼터링 6
가. 스퍼터링의 정의 6
나. DC 스퍼터링 7
다. Magnetron 스퍼터링 9
3. 본 론 10
3.1 X-선 거울 모듈의 설계 10
가. Substrate의 설계 10
나. 3D modeling 및 simulation 12
다. Jig의 설계 13
3.2 X-선 거울 모듈의 제작 14
가. Substrate의 제작 14
나. Multilayer 증착 14
다. Jig의 제작 16
3.3 X-선 거울의 평가 17
가. Multilayer의 두께 측정 및 평가 17
나. X-선 거울의 형상정밀도 측정 및 평가 19
다. X-선 거울의 표면조도 측정 및 평가 22
4. 결과 및 고찰 25
4.1 X-선 거울의 평행 X-선 형성 확인 25
4.2 X-선 거울의 단파장 고강도 X-선 형성 확인 29
4.3 X-선 거울 모듈 31
5. 결 론 37
References 39
Abstract 41

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