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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학위논문
- 저자정보
- 지도교수
- 김현철
- 발행연도
- 2013
- 저작권
- 울산대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.
이용수2
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본 논문은 웨이퍼 표면에 v-groove를 형성 한 후, 전기 화학적 식각을 이용하여 수백 나노미터의 갭을 가지는 트렌치를 형성함으로써 표면 반사도 개선과 수직구조 pn접합의 공핍층 확대에 따른 impact ionization증가에 의한 효율 향상을 기대한다.
Nano gap trench 실리콘 태양 전지는 p-type 단결정 실리콘 웨이퍼를 사용하여 제작 되었다. 나노 트렌치 형성을 위한 패턴을 2um의 간격으로 패터닝하여 photolithography 공정을 한 후, KOH 알칼리 용액과 TMAH 수용액을 이용하여 v-groove를 형성하였다. v-groove 형성 후 전기 화학적 식각을 통해 nano gap trench 형성 하였다.
Nano gap trench 실리콘 태양전지의 효율 향상을 알아보기 위하여 기존 표면 조직화 실리콘 태양전지 와 비교하였으며, 이때 표면 조직화를 제외한 공정은 동일하게 진행하였다.
태양전지 에미터 도핑공정은 phosphorus liquid source를 사용 하였고, 고농도 도핑을 위해 2Ω/sq의 농도로 도핑을 진행 하였다.
전극은 전면은 Ag paste, 후면은 Al paste를 이용한 스크린 프린팅 방식으로 전극 패턴을 형성 하였으며, 웨이퍼와의 ohmic contact을 위해 소성 과정을 거쳤다.
Nano gap trench 와 기존 표면 조직화 solar cell의 효율 비교는 IV curve를 이용하여 개방전압, 단락전류밀도, Fill Factor, 효율을 계산하였다.
기존 표면 조직화 solar cell은 측정 결과 개방전압, 단락 전류밀도, Fill Factor, 효율은 각각 0.47V, 20.5mA/cm2, 0.25, 2.45%의 결과를 얻을 수 있었다. Nano gap trench solar cell은 0.485V, 37.35mA/cm2, 0.35, 6.06%의 결과를 얻었다.
Nano gap trench solar cell은 기존 표면조직화 solar cell에 비해 약 3.61%의 효율 향상을 보였다.
Fill Factor에 대한 개선을 위하여 전극을 수정 하였으며, 수정된 전극으로 Fill Factor는 0.609로 개선되었고, 이에 따라 효율은 8.74%로 약 2.6% 향상되었다.
Nano gap trench 실리콘 태양 전지는 p-type 단결정 실리콘 웨이퍼를 사용하여 제작 되었다. 나노 트렌치 형성을 위한 패턴을 2um의 간격으로 패터닝하여 photolithography 공정을 한 후, KOH 알칼리 용액과 TMAH 수용액을 이용하여 v-groove를 형성하였다. v-groove 형성 후 전기 화학적 식각을 통해 nano gap trench 형성 하였다.
Nano gap trench 실리콘 태양전지의 효율 향상을 알아보기 위하여 기존 표면 조직화 실리콘 태양전지 와 비교하였으며, 이때 표면 조직화를 제외한 공정은 동일하게 진행하였다.
태양전지 에미터 도핑공정은 phosphorus liquid source를 사용 하였고, 고농도 도핑을 위해 2Ω/sq의 농도로 도핑을 진행 하였다.
전극은 전면은 Ag paste, 후면은 Al paste를 이용한 스크린 프린팅 방식으로 전극 패턴을 형성 하였으며, 웨이퍼와의 ohmic contact을 위해 소성 과정을 거쳤다.
Nano gap trench 와 기존 표면 조직화 solar cell의 효율 비교는 IV curve를 이용하여 개방전압, 단락전류밀도, Fill Factor, 효율을 계산하였다.
기존 표면 조직화 solar cell은 측정 결과 개방전압, 단락 전류밀도, Fill Factor, 효율은 각각 0.47V, 20.5mA/cm2, 0.25, 2.45%의 결과를 얻을 수 있었다. Nano gap trench solar cell은 0.485V, 37.35mA/cm2, 0.35, 6.06%의 결과를 얻었다.
Nano gap trench solar cell은 기존 표면조직화 solar cell에 비해 약 3.61%의 효율 향상을 보였다.
Fill Factor에 대한 개선을 위하여 전극을 수정 하였으며, 수정된 전극으로 Fill Factor는 0.609로 개선되었고, 이에 따라 효율은 8.74%로 약 2.6% 향상되었다.
목차
국문요약목 차그림목차표 목 차제 1 장 서 론1.1 연구 배경1.2 문헌 연구제 2 장 이론적 배경2.1 태양전지의 구조 및 동작원리2.2 태양전지의 전류-전압 특성2.3 효율 증대 방안제 3 장 전기 화학적 식각3.1 전기화학적 식각 반응 매커니즘3.2 전기 화학적 식각에 의한 nano gap trench 형성제 4 장 제작 공정4.1 전기화학적 식각 공정4.2 태양전지 제작 공정제 5 장 측 정5.1 표면 반사도 비교5.2 태양전지 효율 측정5.3 효율 개선제 6 장 결 론참 고 문 헌
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