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제 1 장 서론 1제 2 장 MEMS 공정을 이용한 광학시트 개발 4제1절 LED 평면조명 4제2절 LED 조명용 광학시트 개발 62-1 LED 조명용 프리즘 시트 72-2 LED 조명용 도광판 82-3 LED 조명용 반사 시트 9제3절 MEMS 공정을 이용한 패턴 설계 93-1 드라이 에칭 공정 113-2 MEMS 기술을 이용한 프리즘 시트 금형 제작 공정 12제4절 MEMS 패턴을 가지는 광학시트 제작 공정 164-1 니켈전주도금을 이용한 광학시트 금형 제작 164-2 임프린팅을 이용한 광학시트 제작 194-3 사출성형을 이용한 광학시트 제작 244-4 Sputter 공정을 이용한 반사 시트 제작 34제 3 장 실내 환경모니터링 센서 37제1절 Pt 박막을 이용한 온도 센서 371-1 Pt 온도 센서 371-2 Pt 온도 센서의 설계 및 제작 381-3 Pt 온도 센서의 저항 측정 및 회로 설계 39제2절 광학시트와 일체형으로 제작되는 NDIR 방식의CO 가스 센서 412-1 NDIR 방식의 CO센서 412-2 NDIR 방식의 CO센서 시스템의 설계와 제작 44제 4 장 실내 환경모니터링 센서가 일체화된 LED 평면 조명 52제1절 회로 설계 52제2절 LED 조명의 구조 552-1 광학시트에 집적되는 센서 552-2 LED 평면 조명의 구조 57제 5 장 결과 및 고찰 59제1절 광학시트의 특성 평가 591-1 임프린팅 공정으로 제작된 광학시트 591-2 사출 공정으로 제작된 광학시트 64제2절 환경모니터링 센서의 특성 평가 712-1 Pt 박막을 이용한 온도센서 712-2 NDIR 방식의 CO센서 72제3절 실내환경모니터링 LED 조명의 평가 74제 6 장 결론 76참고문헌 78Abstract 80
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