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이용수1
Ⅰ. 서론 01Ⅱ. 이론2.1 결정형 실리콘 태양전지 032.1.1 태양전지 원리 032.1.2 태양전지 특성 052.2 RIE(reactive ion etching) 12Ⅲ. 태양전지 제작3.1 누설전류의 영향을 줄이기 위한 공정 143.1.1 피라미드 구조 개선 143.1.2 반사방지막 증착 후 열처리(thermal annealing)를이용한 소수 캐리어 수명(minority carrier lifetime)극대화 173.2 태양전지 제작 183.2.1 에미터(emitter) 형성 193.2.2 반사방지막 형성 213.2.3 전극 형성 23Ⅳ. 결과 및 고찰4.1 표면 분석 294.2 반사방지막 특성 분석 384.3 전면 전극 형성 404.4 태양전지 특성 분석 43Ⅴ. 결론 49참 고 문 헌 50영 문 초 록 53
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