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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학위논문
- 저자정보
- 지도교수
- 구준모
- 발행연도
- 2013
- 저작권
- 경희대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.
이용수20
이 논문의 연구 히스토리 (3)
2013
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최근 세계적으로 환경문제에 대한 법규들이 강화되고 있고, 우리나라에서도 다른 선진국과 마찬가지로 대기환경보전법을 강화되는 추세이다. 특히 반도체 공정에서 배출되는 불소화물 가스는 특정대기오염물질로 선정되어 배출저감이 필요한 상태이다. 따라서 극저농도 처리를 통해 배출농도 뿐만 아니라 일부 오염 물질의 배출총량 저감이 중요해지고 있다. 그러나 습식 스크러버의 경우 배기가스 및 오염물질의 동시에 제거할 수 있다. 또한 설치비용이 낮고, 처리비용이 낮기 때문에 현재 많은 반도체 공정에서는 습식 스크러버를 사용하여 대기유해가스를 제거하고 있다. 하지만 그 처리효율이 50-60% 로 낮기 때문에 제거 효율을 높이기 위한 많은 연구가 진행되고 있다.
본 연구에서는 스크러버타워로 유입되는 세정수에 계면활성제를 첨가, 미세액적 분무와 자화수처리장치를 사용하여 불산가스 제거효율 향상을 연구하였다. 불산가스를 제거하기 위한 최적의 실험을 위한 조건으로 계면활성제의 농도는 5×10-6mol 농도와 직경 100μm 미만의 액적을 분사한 경우를 최적의 조건으로 선정하였다. 그리고 조건에 다른 복합적인 영향을 판단해 보았다. 제거효율의 불산가스를 제거하기 위한 최적의 방법으로는 스크러버에 pH11 세정수와 덕트내 pH7 이류체 스프레이를 분사한 실험의 경우 7.9% 효율향이 있음을 판단하였고 스크러버에 pH11 세정수와 덕트내 pH7 이류체 스프레이와 SLS 계면활성제를 첨가한 실험의 경우를 13.8% 향상됨을 판단하였다. 그리고 이 두 개의 조건을 최적의 실험 조건으로 선정하였다. 또한, ANCOVA 분석법을 통하여 대조군 대비 실험군의 제거효율 향상을 통계적으로 분석하였다. ANCOVA 분석을 사용함으로써 이전 연구자들이 분석한 방법보다 더욱 정확한 방법으로 분석했음을 판단하였다.
본 연구에서는 스크러버타워로 유입되는 세정수에 계면활성제를 첨가, 미세액적 분무와 자화수처리장치를 사용하여 불산가스 제거효율 향상을 연구하였다. 불산가스를 제거하기 위한 최적의 실험을 위한 조건으로 계면활성제의 농도는 5×10-6mol 농도와 직경 100μm 미만의 액적을 분사한 경우를 최적의 조건으로 선정하였다. 그리고 조건에 다른 복합적인 영향을 판단해 보았다. 제거효율의 불산가스를 제거하기 위한 최적의 방법으로는 스크러버에 pH11 세정수와 덕트내 pH7 이류체 스프레이를 분사한 실험의 경우 7.9% 효율향이 있음을 판단하였고 스크러버에 pH11 세정수와 덕트내 pH7 이류체 스프레이와 SLS 계면활성제를 첨가한 실험의 경우를 13.8% 향상됨을 판단하였다. 그리고 이 두 개의 조건을 최적의 실험 조건으로 선정하였다. 또한, ANCOVA 분석법을 통하여 대조군 대비 실험군의 제거효율 향상을 통계적으로 분석하였다. ANCOVA 분석을 사용함으로써 이전 연구자들이 분석한 방법보다 더욱 정확한 방법으로 분석했음을 판단하였다.
목차
제 1 장 서 론 11.1 연구배경 11.2 연구동향 21.3 연구목적 6제 2 장 이론적 고찰 72.1 물질전달 이론 72.2 이상기체 혼합물 82.3 물질 확산 계수 82.4 가스 확산 거리 계산 92.5 액적 크기와 덕트 길이 102.6 계면활성제 112.7 자화수 11제 3 장 실험장치 및 방법 133.1 실험장치와 물질 133.2 실험결과의 통계처리 153.2.1 사용목적 153.2.2 공변량 통계적 유의성 검증 163.2.3 공변량 분석방법 17제 4 장 실험결과 194.1 HF제거 실험결과 194.2 기본실험 194.2.1 계면활성제 처리효과 194.2.2 자화수 실험 204.2.3 일류체·이류체 마이크로액적 분무 처리 효과 204.2.4 기본 실험 결과 214.3 최적화 실험 224.3.1 계면활성제(5×10-6M) 처리효과 224.3.2 pH7 이류체 스프레이와 계면활성제 혼합모형 처리효과 224.3.3 pH11 이류체 스프레이와 계면활성제 혼합모형 처리효과 234.3.4 pH7 & SLS 이류체 스프레이 처리효과 244.3.5 실험결과와 유의한 인자 24제 5 장 결론 및 고찰 25참고문헌 28Abstract 33
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